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邁可諾技術(shù)有限公司


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SEM掃描電鏡等離子清洗機(jī)

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參   考   價(jià): ￥ 100

訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)Tergeo EM

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：趙先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-07-22 14:15:30瀏覽次數(shù)：1646次

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經(jīng)營(yíng)模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：59條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：趙先生 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
尺寸 內(nèi)徑110毫米    

污染物對(duì)電子顯微鏡SEM/TEM和其它高真空系統(tǒng)產(chǎn)生的影響

潤(rùn)滑劑、真空脂、泵油樣品中的高分子聚合物，或未經(jīng)處理的空氣都會(huì)把碳?xì)湮廴疚镆秸婵障到y(tǒng)中。低蒸汽壓下高分子重污染物會(huì)凝聚在樣品表面和腔室壁上，而使用普通氣體吹掃方法很難把碳?xì)湮廴疚锴宄?br />
電子和高能光子（EUV, X-ray）能夠分解存在于真空系統(tǒng)中或樣品上的碳?xì)湮廴疚铩Ｌ細(xì)浠衔锏姆纸猱a(chǎn)物沉積在被觀測(cè)的樣品表面或電子光學(xué)部件

詳細(xì)介紹

1、控制系統(tǒng)

1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面，支持多種工作方式。

2）程序控制：可編程，總共有20個(gè)程序，每個(gè)程序有3個(gè)清潔步驟

2、反應(yīng)腔體

1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙。

2）腔體尺寸：內(nèi)徑110毫米，外徑120毫米，深度280毫米，壁厚：5毫米。

3）前觀測(cè)窗：前方開口，5毫米厚石英玻璃可視窗口，可觀測(cè)內(nèi)腔等離子狀態(tài)，并帶有防真空泄漏和避免高壓的聯(lián)鎖裝置，有效保護(hù)操作的安全性；

3、射頻電源

1）射頻頻率：13.56MHz

2）射頻功率：標(biāo)配0~75W；可選配0~150W。從0瓦到150瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，自動(dòng)阻抗匹配。

3）射頻輸出可以工作在脈沖方式，脈沖比可以從1/255調(diào)到255/255（連續(xù)輸出）。

4、等離子源

1）等離子強(qiáng)度探測(cè)器實(shí)時(shí)測(cè)量等離子源強(qiáng)度。

2）電阻耦合電離方式。

3）外置電極設(shè)計(jì)，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

5、氣體控制

1）氣路控制：標(biāo)配一路MFC；可選配三路MFC；

2）質(zhì)量流量計(jì)可以在0~100sccm之間控制氣體流量；

3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。

4）自動(dòng)放氣流程控制可以保護(hù)真空泵不受影響。

5）高性能氣壓計(jì)可以測(cè)量1e-4 Torr到大氣壓之間的氣壓。

6）6mm氣體接口。

6、真空系統(tǒng)

1）KF25法蘭接口用來連接真空泵。

2）真空要求：抽速：>1.7m3/h；

3）低氣壓：<=200mTorr. 

產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字： SEM掃描 SEM掃描電鏡 電鏡等離子清潔儀 遠(yuǎn)程等離子清潔儀 電子顯微鏡SEM


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