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邁可諾技術有限公司
邁可諾技術有限公司
產(chǎn)品型號BASIXX ST20+
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地上海市
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更新時間：2021-05-20 11:00:57瀏覽次數(shù)：280次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線| 電源 | 230（208）VAC / 1Phase/ N / P | 可處理襯底尺寸 | 直徑大為?200mm（?8英寸）圓片，或大為150 x 15 |
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直驅(qū)無刷微調(diào)電機
÷ 全軸電機驅(qū)動且*可編程
÷ 具有程序菜單管理功能的軟件控制
÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋
÷ 旋轉(zhuǎn)器蓋傳感器控制
÷ 通過觸摸屏或按鈕啟動程序
÷ 7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺式外殼
勻膠涂膜機ST20+特點：
÷ 直驅(qū)無刷微調(diào)電機
÷ 全軸電機驅(qū)動且*可編程
÷ 具有程序菜單管理功能的軟件控制
÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋
÷ 旋轉(zhuǎn)器蓋傳感器控制
÷ 通過觸摸屏或按鈕啟動程序
÷ 7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺式外殼
÷ 外殼上的電源開關ON / OFF
÷ 配備標準的水坑噴嘴，通過水坑噴嘴注入溶劑
÷ 可拆卸處理碗和飛濺環(huán)，便于清潔
÷ 可處理圓形晶片，尺寸大為Ø200mm（Ø8英寸）
÷ 可處理方形基板，尺寸大為150 x 150毫米（6 x 6英寸）
÷ 標配多安裝3個介質(zhì)管線/噴嘴（可選：多5個介質(zhì)管線/噴嘴）
÷ 可視真空控制儀
÷ 真空閥塊和傳感器的安全性由程序啟動和系統(tǒng)運行來控制
÷ 含0.5 Itr的廢液瓶
÷ 可選的帶Z軸移動和PR分配系統(tǒng)的電動介質(zhì)臂
÷ 可作為臺式安裝，也可做獨立裝置使用
÷ 簡單且經(jīng)濟高效
÷ 專為研究所，實驗室和基礎研發(fā)而設計
應用于：旋涂，顯影，清潔和干燥
勻膠涂膜機ST20+產(chǎn)品參數(shù)：
可處理襯底尺寸：直徑大為Ø200mm（Ø8英寸）圓片，或大為150 x 150毫米（6 x 6英寸）方片；
旋轉(zhuǎn)速度：10,000rpm *，（以rpm步長為單位）；
加速度：4.000 rpm / sec *；
處理時間：1至999,9sec，以0.1秒為步；
處理碗：可更換，聚丙烯（PP）材質(zhì)
腔體：白色（PP）材質(zhì)
固定晶圓片或襯底的裝置：真空托盤；
電源：230（208）VAC / 1Phase/ N / PE / 50（60）Hz
真空：-0.8 bar / -600 Torr，管外直徑6 mm
排氣-過程：1x外徑38毫米，約 30立方米/小時
氮氣（可選）：4土0.2 bar，PFA管外徑6 mm
CDA（可選）：8土2bar，管外徑8mm。
選配項：
適用各種尺寸大小的托盤
分配臂
泵
| 產(chǎn)品相關關鍵字： 涂膜機 旋涂儀 涂布機 勻膠旋涂儀 臺式旋涂機 |
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