測(cè)量顯微鏡107JPC
、用途：
測(cè)量顯微鏡107JPC采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密另件測(cè)量。廣泛地適用于計(jì)量室，生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門(mén)。
在107J基礎(chǔ)上加裝光柵測(cè)量尺，數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，將測(cè)量數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，可進(jìn)行各種復(fù)雜的二維幾何測(cè)量。測(cè)量顯微鏡107JPC是光、機(jī)、電體化的高科技精密測(cè)量?jī)x器。
二、技術(shù)規(guī)格
鏡筒 | 粗 動(dòng) | 調(diào)節(jié)范圍 90毫米 | |
微 動(dòng) | 調(diào)節(jié)范圍 2毫米 | ||
高（Z)測(cè)量 | 1毫米更小讀數(shù)0.001毫米（干分表讀數(shù)） | ||
鏡 筒 | 雙目鏡筒 俯角45° | ||
工作臺(tái) | 左右（X軸） | 移動(dòng)范圍50毫米 | |
前后（Y)軸 | 移動(dòng)范圍50毫米 | ||
分 辨 率 | 1微米 | ||
旋 轉(zhuǎn) | 360° | ||
照明系統(tǒng) | 光源 | 透射照明 | 8V-15W 藍(lán)、綠濾色片 |
反射照明 | 8V-12W 磨砂燈泡 綠色濾色片 | ||
斜照明 | 8V-15W | ||
電 源 | AC 220V±10% 50/60HZ | ||
光學(xué)系統(tǒng) | 目 鏡 | BWF 10X | |
物 鏡 | 4X 工作距離17.5 焦距28.8 | ||
10X 工作距離11.6 焦距15.4 | |||
40X 工作距離0.66 焦距4.4 | |||
107JA測(cè)量顯微鏡采用光柵尺和數(shù)據(jù)箱，并配有計(jì)算機(jī)圖象處理系統(tǒng)。還可選配增加視頻圖像系統(tǒng)，在計(jì)算機(jī)屏幕上直接瞄準(zhǔn)。
通過(guò)計(jì)算機(jī)接口和二維測(cè)量程序可使被測(cè)工件的輪廓直接構(gòu)圖在計(jì)算機(jī)屏幕上，由AutoCAD進(jìn)行編輯。
二維測(cè)量程序包括點(diǎn)、線、園、弧、直線度、園度、螺紋、凸輪等測(cè)量功能。
107JA測(cè)量顯微鏡放大倍數(shù)高，工作臺(tái)除作X，Y坐標(biāo)的移動(dòng)外，還可以作360°的旋轉(zhuǎn)，亦可以進(jìn)行高度方向Z坐標(biāo)的測(cè)量。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外，還有斜光線照明。
環(huán)保在線