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深圳海納光學(xué)有限公司

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用于DLIP系統(tǒng)的衍射光學(xué)元件

2020-7-21  閱讀(597)

 

近幾年,利用高功率短脈沖準(zhǔn)直激光干涉圖像系統(tǒng)(DLIP)來(lái)重塑表面的結(jié)構(gòu),這一方面越來(lái)越受到人們的關(guān)注。由于使用Holoor的高功率衍射光學(xué)元件(DOE)應(yīng)用在DLIP系統(tǒng)中的客戶比較多,我們覺(jué)得非常有必要為該領(lǐng)域的客戶提供系統(tǒng)的技術(shù)服務(wù),并推出了DLIP光學(xué)系統(tǒng)的Zemax OpticStudio設(shè)計(jì)文件,并共享給有需要的客戶。在Zemax軟件中,能夠模擬光束的基本性能和公差,還可以自定義的輸入光學(xué)參數(shù),如波長(zhǎng),光束大小,分離角度,階數(shù),焦距等。Holoor希望這份設(shè)計(jì)文件,不僅幫助專業(yè)人員去研究DLIP系統(tǒng),方便他們?nèi)?gòu)建系統(tǒng)并且能夠提出值得探索的技術(shù)問(wèn)題,還鼓勵(lì)更多的人在DLIP系統(tǒng)中去使用Holoor公司的DOE。

1、模擬模型的詳細(xì)說(shuō)明

該文件中包括一個(gè)含有平頂光束整形器的四光束干涉系統(tǒng)。在圖1中,Holoor引用的一種DLIP系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。如圖2所示,使用Zemax OpticStudio模擬DLIP系統(tǒng)的3D展示圖。

模擬參數(shù)如下:

波長(zhǎng) 1053nm

光束直徑 4mm

光斑尺寸 1x1mRad

聚焦鏡的有效焦距 100mm

分束器 2×2

 

該文件按照順序進(jìn)行編寫,在相干系統(tǒng)的分析方法上具有一定的優(yōu)勢(shì)。下圖是透鏡的各項(xiàng)數(shù)據(jù)的頁(yè)面窗口。

 

在圖中左側(cè)的第2行,設(shè)置了一個(gè)平頂光束整形器也就是圖中的BlackBox,然后又設(shè)置了兩個(gè)正交的衍射光柵,讓它們來(lái)模擬2×2光束分束器。第10和11行的目的,是要構(gòu)造一個(gè)棱鏡,然后再設(shè)置一個(gè)坐標(biāo)斷點(diǎn)來(lái)準(zhǔn)直被分束后的光束,由于Z軸旋轉(zhuǎn)會(huì)導(dǎo)致X軸與Y軸也會(huì)發(fā)生位移,因此棱鏡始終會(huì)使衍射光柵的光束準(zhǔn)直射出。分束后的這四個(gè)光束,每一個(gè)光束都有獨(dú)自的參數(shù)配置,可以在圖3的“多配置”編輯器中看到。參數(shù)包括:衍射階數(shù),Z軸的旋轉(zhuǎn)角度、斷點(diǎn)坐標(biāo),和在X、Y軸的位移。

 

2、分析處理

首先,選用的是Huygens PSF軟件進(jìn)行分析。想看到干涉圖像,要在Huygens PSF的軟件中要選擇ALL,來(lái)顯示所有的配置。下圖所示,Holoor公司展示的引用的DLIP系統(tǒng)的真實(shí)強(qiáng)度結(jié)果圖。

 



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