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PUR-TX 高純氣露點變送器 / 在線露點儀

在很多超純氣應用，諸如半導體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppb_V)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結合標準工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的*適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價位變送器。

亮點

· 測量下限 -120°C 露點 (1 ppb_{V 1/10}_億)

· 測量穩(wěn)定，重復性好

· 高度集成的采樣裝置

· 模擬和數(shù)字輸出

· 安裝簡便

· VCR 過程接口

· 設計緊湊小巧

· 顯示/報警單元可選

技術指標

傳感器
傳感器類型	密析爾陶瓷濕度傳感器
量程	-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度	±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率	0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
壓力	zui低 10-9 torr; zui大 24 MPa
氣體流量	1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源	通常 24 V DC, zui低10 V ~ zui高28 V , zui大電流 25 mA
輸出	4-20 mA 輸出, 對應范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標配提供) zui大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯狀態(tài)	標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機械性能
傳感器套筒	不銹鋼, 0.1-0.2 Ra ?m 電鍍內(nèi)拋光

氣路連接端口	Premium 或 OEM 型: ?' m VCR 接口 Pura Sensor 型: ?' m VCR 接口
安裝配置	Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?' VCR 端口中
尺寸	Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量	Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g
包裝	Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝所有選配件: 獨立包裝運輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作