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深圳溫濕度傳感器技術(shù)有限公司

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michell高純氣體露點(diǎn)變送器PUR-TX

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)PUR-TX

品牌

廠商性質(zhì)代理商

所在地深圳市

更新時(shí)間:2018-05-16 14:27:42瀏覽次數(shù):765次

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在很多超純氣應(yīng)用,諸如半導(dǎo)體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對(duì)于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來,對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量都是個(gè)難點(diǎn),需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案,用來在線測(cè)量露點(diǎn)值,下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。

PUR-TX 高純氣露點(diǎn)變送器 / 在線露點(diǎn)儀

在很多超純氣應(yīng)用,諸如半導(dǎo)體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對(duì)于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來,對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量都是個(gè)難點(diǎn),需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案,用來在線測(cè)量露點(diǎn)值,下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn),結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的*適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。

 

亮點(diǎn)

· 測(cè)量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV 1/10)

· 測(cè)量穩(wěn)定,重復(fù)性好

· 高度集成的采樣裝置

· 模擬和數(shù)字輸出

· 安裝簡(jiǎn)便

· VCR 過程接口

· 設(shè)計(jì)緊湊小巧

· 顯示/報(bào)警單元可選

技術(shù)指標(biāo)

傳感器

傳感器類型

密析爾陶瓷濕度傳感器

量程

-120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C)

精度

±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (
估算值)

分辨率

0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C

壓力

zui低 10-9 torr; zui大 24 MPa

氣體流量

1 ~ 5 Nl/min

電氣

電源

通常 24 V DC, zui低10 V ~ zui高28 V , zui大電流 25 mA

輸出

4-20 mA 輸出, 對(duì)應(yīng)范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
zui大負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)

輸出出錯(cuò)狀態(tài)

標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限

機(jī)械性能

傳感器套筒

不銹鋼, 0.1-0.2 Ra ?m 電鍍內(nèi)拋光

氣路連接端口

Premium OEM : ?' m VCR 接口
Pura Sensor : ?' m VCR 接口

安裝配置

Premium OEM : 120.00mm 長(zhǎng), 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙
底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對(duì)面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor
: 適用于用戶提供的 ?' VCR 端口中

尺寸

Premium OEM : 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor
: 132 x 35mm

重量

Premium OEM : 450g
Pura Sensor
: 180g

包裝

Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM Pura Sensor : 單層包裝
所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作

 

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