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NanoPWM驅(qū)動(dòng)器-代替線性驅(qū)動(dòng)器變頻器

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更新時(shí)間：2023-11-13 09:09:56瀏覽次數(shù)：286次

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驅(qū)動(dòng)器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

NanoPWM驅(qū)動(dòng)器-代替線性驅(qū)動(dòng)器
利用ACS所有的NanoPWM技術(shù)，產(chǎn)品線PWM驅(qū)動(dòng)器提供的*的靜止抖動(dòng)和平滑的速度性能，相較于經(jīng)典的商業(yè)上可用的線性驅(qū)動(dòng)器。
NanoPWM驅(qū)動(dòng)器是Z*驅(qū)動(dòng)器用于450MM和300MM晶圓制程平臺(tái)，也可以用于其他需要以平滑的速度和亞納米級(jí)抖動(dòng)的高速度和加速度的伺服控制

詳細(xì)介紹

NanoPWM驅(qū)動(dòng)器-代替線性驅(qū)動(dòng)器NanoPWM驅(qū)動(dòng)器-代替線性驅(qū)動(dòng)器

利用ACS所有的NanoPWM技術(shù)，產(chǎn)品線PWM驅(qū)動(dòng)器提供的*的靜止抖動(dòng)和平滑的速度性能，相較于經(jīng)典的商業(yè)上可用的線性驅(qū)動(dòng)器。

ACS的NanoPWM驅(qū)動(dòng)器提供的運(yùn)動(dòng)性能（保證的），減小安裝尺寸，減少熱耗散，和經(jīng)濟(jì)的價(jià)格。NanoPWM驅(qū)動(dòng)器是zui*驅(qū)動(dòng)器用于450MM和300MM晶圓制程平臺(tái)，也可以用于其他需要以平滑的速度和亞納米級(jí)抖動(dòng)的高速度和加速度的伺服控制應(yīng)用。

用一個(gè)Spilplus的控制器和NanoPWM驅(qū)動(dòng)器控制一個(gè)直線平臺(tái)，可以達(dá)到下面的性能：

*靜止抖動(dòng)好于0.3納米（機(jī)械平臺(tái)）

*跟隨誤差在速度100MM/秒時(shí)為10納米（氣浮平臺(tái)）

納米定位和高速度

當(dāng)需要高速度，納米定位的分辨率時(shí)，OEM廠家至今局限于昂貴的激光干涉儀反饋系統(tǒng)，用ACS的10MHZ SpilplusSin-Cos編碼器差分器，控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)師現(xiàn)在有了經(jīng)濟(jì)的替換方案，用模擬量光學(xué)編碼器或者激光原理的超快編碼器就夠用了。

zui精確和柔性的龍門(mén)控制

對(duì)于高精度龍門(mén)定位平臺(tái)，有兩個(gè)電機(jī)（每個(gè)有自己的反饋）被用來(lái)控制一個(gè)軸。ACS運(yùn)動(dòng)控制已經(jīng)開(kāi)發(fā)了*和有力的算法提供*水準(zhǔn)的定位精確度，速度穩(wěn)定性，和整定時(shí)間。

龍門(mén)算法主要特征：優(yōu)勢(shì)：

*帶解耦環(huán)的MIMO控制 *更高的帶寬

*縱向伺服環(huán)控制 *更好的穩(wěn)定性

*旋轉(zhuǎn)（偏擺）方向伺服環(huán)控制 *zui小的軸相互干擾

*自動(dòng)力/編碼器調(diào)度作為橫梁軸位置的函數(shù) *調(diào)試簡(jiǎn)單

*偏擺角的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償 *可靠的操作

*剛性龍門(mén)和柔性龍門(mén)都適合

關(guān)鍵詞：激光干涉儀

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