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NanoPWM驅(qū)動器-代替線性驅(qū)動器變頻器

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產(chǎn)品型號NanoPWM

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更新時(shí)間：2023-11-13 09:09:56瀏覽次數(shù)：320次

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  ACS

驅(qū)動器

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產(chǎn)品簡介

NanoPWM驅(qū)動器-代替線性驅(qū)動器
利用ACS所有的NanoPWM技術(shù)，產(chǎn)品線PWM驅(qū)動器提供的*的靜止抖動和平滑的速度性能，相較于經(jīng)典的商業(yè)上可用的線性驅(qū)動器。
NanoPWM驅(qū)動器是Z*驅(qū)動器用于450MM和300MM晶圓制程平臺，也可以用于其他需要以平滑的速度和亞納米級抖動的高速度和加速度的伺服控制

詳細(xì)介紹

NanoPWM驅(qū)動器-代替線性驅(qū)動器NanoPWM驅(qū)動器-代替線性驅(qū)動器

利用ACS所有的NanoPWM技術(shù)，產(chǎn)品線PWM驅(qū)動器提供的*的靜止抖動和平滑的速度性能，相較于經(jīng)典的商業(yè)上可用的線性驅(qū)動器。

ACS的NanoPWM驅(qū)動器提供的運(yùn)動性能（保證的），減小安裝尺寸，減少熱耗散，和經(jīng)濟(jì)的價(jià)格。NanoPWM驅(qū)動器是zui*驅(qū)動器用于450MM和300MM晶圓制程平臺，也可以用于其他需要以平滑的速度和亞納米級抖動的高速度和加速度的伺服控制應(yīng)用。

用一個(gè)Spilplus的控制器和NanoPWM驅(qū)動器控制一個(gè)直線平臺，可以達(dá)到下面的性能：

*靜止抖動好于0.3納米（機(jī)械平臺）

*跟隨誤差在速度100MM/秒時(shí)為10納米（氣浮平臺）

納米定位和高速度

當(dāng)需要高速度，納米定位的分辨率時(shí)，OEM廠家至今局限于昂貴的激光干涉儀反饋系統(tǒng)，用ACS的10MHZ SpilplusSin-Cos編碼器差分器，控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)師現(xiàn)在有了經(jīng)濟(jì)的替換方案，用模擬量光學(xué)編碼器或者激光原理的超快編碼器就夠用了。

zui精確和柔性的龍門控制

對于高精度龍門定位平臺，有兩個(gè)電機(jī)（每個(gè)有自己的反饋）被用來控制一個(gè)軸。ACS運(yùn)動控制已經(jīng)開發(fā)了*和有力的算法提供*水準(zhǔn)的定位精確度，速度穩(wěn)定性，和整定時(shí)間。

龍門算法主要特征：優(yōu)勢：

*帶解耦環(huán)的MIMO控制 *更高的帶寬

*縱向伺服環(huán)控制 *更好的穩(wěn)定性

*旋轉(zhuǎn)（偏擺）方向伺服環(huán)控制 *zui小的軸相互干擾

*自動力/編碼器調(diào)度作為橫梁軸位置的函數(shù) *調(diào)試簡單

*偏擺角的動態(tài)補(bǔ)償 *可靠的操作

*剛性龍門和柔性龍門都適合

關(guān)鍵詞：激光干涉儀

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