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技術(shù)文章

Linetech質(zhì)量流量控制器設(shè)備配套的*選擇

閱讀：294發(fā)布時(shí)間：2016-1-21

Linetech質(zhì)量流量控制器性能穩(wěn)定，性價(jià)比高，是設(shè)備配套的產(chǎn)品。

一、韓國(guó)Linetech M3030A氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 測(cè)量質(zhì)量流量
  • 無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償
  • 結(jié)構(gòu)緊湊
  • 精度高
  • 工作壓力高
  • 響應(yīng)時(shí)間快
  • 重復(fù)性高

二、韓國(guó)Linetech M3030A氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

質(zhì)量流量計(jì)

質(zhì)量流量控制器

流量范圍(N2)

  10SCCM~1000SLPM

  10SCCM ~ 300slpm

  響應(yīng)時(shí)間

  <2 sec

  <2 sec

度

  ≤±1% FS

  ≤±1% FS

  重復(fù)精度

  ±0.25% FS

  ±0.25% FS

  輸入/輸出信號(hào)

0~5 Vdc OR 4~20 mA

  0~5 Vdc OR 4~20 mA

供電電源

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

 耐壓

  <90bar

  0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar,

100-300SLPM,<15bar

工作環(huán)境溫度

  0~50 °C

  0~50 °C

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

  1*10E-9 atm cc/sec

使用范圍

  2 ~ 100%

  2~ 100%

 

三、韓國(guó)Linetech M3030A氣體質(zhì)量流量控制器接口尺寸


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