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FS1015氣體質(zhì)量流量傳感器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

FS1015氣體質(zhì)量流量傳感器適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)。

詳細(xì)介紹

FS1015氣體質(zhì)量流量傳感器

FS1015氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

FS1015系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器是專門(mén)為各類醫(yī)學(xué)用氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)。

適用介質(zhì)

空氣、笑氣、二氧化碳、氮?dú)?、氧氣、氬氣?/span>

產(chǎn)品特點(diǎn)：

專為*和*的流量計(jì)量需求而設(shè)計(jì)
高靈敏度，應(yīng)用熱式質(zhì)量流量計(jì)原理可測(cè)量zui低至8mm/sec的流體流量
無(wú)旁通結(jié)構(gòu)，低壓損
傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
經(jīng)消毒液殺菌處理后可重復(fù)使用
自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程的開(kāi)關(guān)設(shè)計(jì)提高了測(cè)量精度
主機(jī)設(shè)備上的用戶界面可輕松實(shí)現(xiàn)線性輸出

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品	FS1015CL	單位
流量范圍	0~100 / 0~150	SLPM
量程比	100：1
精度	±(1.5+0.2FS)	%
重復(fù)性	0.25	%
零點(diǎn)輸出飄移	±30	mV
輸出飄移	±0.12	%/ ℃
響應(yīng)時(shí)間	8	ms
工作電壓	5±1%	Vdc
輸出方式	線性，模擬電壓0.5~4.5Vdc
zui大流量壓損	1300	Pa
zui大工作壓力	0.2	MPa
工作溫度	-10~+55	℃
儲(chǔ)存溫度	-20~+65	℃
工作濕度	<95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露)
電氣接口	5針插座，AMP 103956-4
機(jī)械接口	ISO-15mm
校準(zhǔn)方式	空氣，20℃，101.325kPa
重量	21.5	g

關(guān)鍵詞：流量傳感器傳感器芯片流量計(jì) 熱式質(zhì)量流量計(jì)

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