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半導(dǎo)體器件清洗廢水處理方案

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更新時間：2024-10-14 08:27:16瀏覽次數(shù)：60次

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蘇州市創(chuàng)聯(lián)凈化設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：185條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：厲干勝（銷售部經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

半導(dǎo)體器件清洗廢水處理方案

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體器件廢水處理方案

一、項目簡介

某半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廢水情況如下：含氟清洗廢水、研磨清洗廢水、有機(jī)廢水（因產(chǎn)生量較少，濃度高，委托第三方處置單位處置）、酸堿廢水，廢水性質(zhì)主要為清洗廢水，濃度較低，容易處理。廢水經(jīng)過系統(tǒng)處理后達(dá)到國家污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)級標(biāo)準(zhǔn)和納管排放。

二、設(shè)計技術(shù)規(guī)范及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

本污水處理項目的設(shè)計，施工與安裝嚴(yán)格執(zhí)行國家的專業(yè)技術(shù)規(guī)范與標(biāo)準(zhǔn)，其主要規(guī)范與標(biāo)準(zhǔn)如下：

●《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》 GB8978-1996標(biāo)準(zhǔn)

●《鋼結(jié)構(gòu)設(shè)計規(guī)范》 GB50017－2017

●《固定式鋼梯和平臺要求》 GB 4053—2009

●《機(jī)械設(shè)備安裝工程施工及驗收規(guī)范》 GB50231-2009

●《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接施工及驗收規(guī)范》 GB50236-2011

●《電力裝置的繼電保護(hù)和自動裝置設(shè)計規(guī)范》 GBT50062-2008

●《電氣裝置施工及驗收規(guī)范》 GB-50254-96

●《分散型控制系統(tǒng)工程設(shè)計規(guī)范》 HGT-20573-2012

●《工業(yè)與民用供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》 GB-50052-2009

●《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》 GB50054-2011

三、項目由來

該廠區(qū)主要廢水生產(chǎn)廢水來源于以下：

3.1、含氟清洗廢水及處理單元預(yù)估出水情況
處理工藝	項目	水量(t/a)	pH	COD（mg/l）	SS（mg/l）	F-（mg/l）	氯化物（mg/l）
一級反應(yīng)沉淀池	進(jìn)水	11520	3-4	50	25	300	30
	出水	11520	4-5	40	17.5	60	30
	去除效率%	-	/	20	30	80	/
二級反應(yīng)沉淀池	進(jìn)水	11520	4-5	40	17.5	60	30
	出水	11520	5-6	32	7	12	30
	去除效率%	-	/	20	60	80	/
pH調(diào)節(jié)池	進(jìn)水	11520	5-6	32	7	12	30
pH調(diào)節(jié)池	出水	11520	6-9	32	7	12	30

3.2、研磨清洗廢水及處理單元預(yù)估出水情況
處理工藝	項目	水量(t/a)	pH	COD（mg/l）	SS（mg/l）
反應(yīng)沉淀	進(jìn)水	3840	6-9	100	800
	出水	3840	7-10	100	200
	去除效率%	-	/	0	75
pH調(diào)節(jié)池	進(jìn)水	3840	7-10	100	200
pH調(diào)節(jié)池	出水	3840	6-9	100	200

3.3、含有機(jī)物清洗廢水

有機(jī)清洗廢水排放量較少，僅為144m³/a，經(jīng)現(xiàn)場收集后委托有資質(zhì)單位處理處置。

3.4、酸堿廢水及處理單元預(yù)估出水情況
處理工藝	項目	水量(t/d)	pH	COD	SS	氨氮	總氮	總磷	硫酸鹽	氯化物
一級反應(yīng)沉淀	進(jìn)水	77220	4-7	60	200	15	40	10	800	70
	出水	77220	5-8	48	30	15	36	5	400	70
	去除效率%	/	/	20	85	/	10	50	50	/
二級中和	進(jìn)水	77220	5-8	48	30	15	36	5	400	70
	出水	77220	6-9	43	30	15	36	5	400	70
	去除效率%	/	/	10	/	/	/	/	/	/
pH調(diào)節(jié)池	進(jìn)水	77220	6-9	43	30	15	36	5	400	70
pH調(diào)節(jié)池	出水	77220	6-9	43	30	15	36	5	400	70

經(jīng)詳細(xì)了解，該廢水主要污染物為PH、SS值，廢水性質(zhì)簡單，水質(zhì)較穩(wěn)定，未見明顯復(fù)雜成分。經(jīng)過化學(xué)調(diào)整PH和混凝沉淀后，可以保證達(dá)標(biāo)。

四.污水處理工程建設(shè)規(guī)模及處理程度

4.1處理規(guī)模(按照環(huán)評意見，每年工作日330天，24小時生產(chǎn))

序號	廢水名稱	廢水產(chǎn)生量
1	含氟清洗廢水	10T/h
2	研磨清洗廢水	5t/h
4	酸堿廢水	40t/h
5	合計	55t/h

考慮到相關(guān)的不確定因素，本方案中設(shè)計略放余量,按照300t/d廢水處理能力設(shè)計。

4.2處理出水指標(biāo)

該生產(chǎn)清洗廢水經(jīng)處理后排放，參考標(biāo)準(zhǔn)為《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB8978-1996級標(biāo)準(zhǔn)，具體監(jiān)測因子及水質(zhì)指標(biāo)見下表。

污水排放標(biāo)準(zhǔn) 單位：mg/L （pH值除外）
污染物名稱	水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)限值	標(biāo)準(zhǔn)來源
pH	6～9	《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》 GB8978-1996三級標(biāo)準(zhǔn)
BOD₅	300
COD	500
SS	400
NH₃-H	25
動植物油	10
石油類	20
磷酸鹽（以p計）	5
總氮	/
氨氮	25
氟化物	20

五、清洗廢水處理工藝

5.1前處理清洗廢水處理工藝方案的選擇與確定（具體工藝參見工藝流程圖）

5.1.1含氟廢水工藝說明

含氟清洗廢水進(jìn)入含氟清洗廢水收集池后，經(jīng)過PH調(diào)整、并添加氯化鈣(CaCl₂)產(chǎn)生無害的氟化鈣(CaF₂)沉淀，經(jīng)投加混凝劑(PAC)、絮凝劑(PAM)進(jìn)行混凝沉降，總除氟效率達(dá)到96%以上。含氟廢水采用氯化鈣作沉淀劑處理工藝，為成熟可靠工藝。

5.1.2研磨廢水處理工藝說明

研磨清洗廢水進(jìn)入研磨廢水收集池均質(zhì)后，通過提升泵提升，調(diào)整pH值后加入PAC，PAM充分反應(yīng)后，進(jìn)入斜管沉淀池，總除SS效率達(dá)到90%，處理后廢水經(jīng)pH調(diào)節(jié)槽進(jìn)入排放系統(tǒng)，產(chǎn)生的污泥進(jìn)入污泥槽，經(jīng)污泥脫水形成泥餅，外運。

5.1.3酸堿廢水處理工藝說明

一般酸堿廢水采用酸堿中和法處理，酸堿廢水經(jīng)管道收集后流入廢水處理站的酸堿廢水收集池；依次進(jìn)入PH調(diào)整池，PH調(diào)整池中設(shè)計PH在線檢測儀，根據(jù)PH情況，添加堿液后，再投加一定量的PAC和PAM絮凝劑后，進(jìn)入沉淀池，防止SS值超標(biāo)。

經(jīng)沉淀后的廢水進(jìn)入pH調(diào)節(jié)槽，經(jīng)檢測合格后（pH值達(dá)到6~9范圍內(nèi)）排入公司生產(chǎn)廢水排水管道。

蘇州市創(chuàng)聯(lián)凈化設(shè)備有限公司，專業(yè)提供工業(yè)純水設(shè)備、廢水處理設(shè)備、中水回用設(shè)備。產(chǎn)品涉及半導(dǎo)體微電子行業(yè)、汽車零部件表面處理、制藥、食品、精洗化工行業(yè)。