1.液環(huán)泵

雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵，但在中國(guó)的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場(chǎng)。在國(guó)外，液環(huán)泵的銷(xiāo)售額占全部真空泵市場(chǎng)的14%，僅次于干泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在中國(guó)投資建廠(chǎng)或建立銷(xiāo)售網(wǎng)絡(luò)，不斷擴(kuò)大在中國(guó)的*。由于液環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品，所以國(guó)產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì)，縮小體積，減輕重量，提率，降低能耗。

2.滑閥泵

由于滑閥泵比較耐用、可靠，國(guó)內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國(guó)外各真空廠(chǎng)都在中國(guó)尋找合作伙伴。為了使國(guó)產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入市場(chǎng)，必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵運(yùn)行的可靠性。

3.直聯(lián)旋片泵

隨著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來(lái)越大。由于這種泵數(shù)量很多，加工裝配工作量很大，價(jià)格又很低，所以有的國(guó)外真空廠(chǎng)商在中國(guó)建立專(zhuān)業(yè)廠(chǎng)。國(guó)產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過(guò)關(guān)，價(jià)格又遠(yuǎn)比國(guó)外的泵便宜，所以國(guó)產(chǎn)泵仍然有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠，同時(shí)還要進(jìn)一步提高國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。

4.羅茨泵

從國(guó)外羅茨泵生產(chǎn)情況來(lái)看，國(guó)外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcal、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷(xiāo)售額占羅茨泵銷(xiāo)售額的比例都沒(méi)超過(guò)5%，這5家總計(jì)才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國(guó)外羅茨泵的價(jià)格遠(yuǎn)比國(guó)產(chǎn)泵要高得多。目前，國(guó)內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國(guó)產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入市場(chǎng)，這樣就必須進(jìn)一步降低國(guó)產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲，*解決軸封漏油問(wèn)題，改進(jìn)泵的外觀(guān)質(zhì)量，提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國(guó)家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下運(yùn)行的可靠性。

目前，國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿(mǎn)足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵，所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了運(yùn)行的考驗(yàn)，所以應(yīng)該在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。

5.分子泵

分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。

由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱(chēng)之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開(kāi)發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。

6.干泵

國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)，其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿(mǎn)足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速?gòu)?0m3／h～500m3／h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，中國(guó)應(yīng)大力研究開(kāi)發(fā)干泵，使干泵成為中國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。