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當(dāng)前位置：深圳市深國安電子科技有限公司>>技術(shù)文章>>在線磷烷砷烷二合一氣體檢測儀在半導(dǎo)體巡檢機器人的應(yīng)用
在半導(dǎo)體材料和器件的研究和生產(chǎn)中經(jīng)常要使用各種具劇毒高毒及易燃,易爆特性的氣體,其中最典型的即為砷烷和磷烷……這兩種氣體常用作Ⅲ一 v族半導(dǎo)體外延材料的生長源,在氣相外延(vPE),金屬有機物氣相外延(MOVPE)I氣態(tài)源分子束外延(GSMBE)及化學(xué)隸外延(CBE)等中提到廣泛應(yīng)用,在其它一些平導(dǎo)體工藝如離子注人，擴散.多品及非品硅沉積等中也常用作摻雜劑。
由于這兩種氣體均為劇毒,燃氣體,磷烷遇空氣還能自燃,因此在實際工作中無論是從影響人體健康的環(huán)保因素考慮，還是從保證安定的角度考慮，都必須對工作空間中這些氣體的環(huán)境濃度進行有效的實時監(jiān)測，并具備可靠的泄漏安全報警裝置砷烷和磷烷的環(huán)境允許濃度甚低,分別僅為 5oppb~3o0ppb,在幾個ppm的濃度下即會產(chǎn)生急性中毒癥狀,
巡檢機器人"基于OCR和圖像識別能力，能模擬專業(yè)的人工操作，在全站多級頁面與資金交易全流程的各個場景進行點擊、識別、檢查等巡檢操作，搭配深國安在線磷烷砷烷二合一氣體檢測儀，能有效的提高巡檢的速度跟人員的安全保障，
在線磷烷砷烷二合一氣體檢測儀特點：
1，用深國安典型的家族式盾形外觀設(shè)計，配備工業(yè)級鋁合金防護外殼，堅固耐用；
2，2.4英寸超大屏幕，顯示目標(biāo)氣體、濃度、單位、指示燈工作狀態(tài)等各項參數(shù)；
3，中英文、繁體，操作界面，適合所有人群；強大聲光報警功能，三級報警點自由設(shè)置，當(dāng)氣體濃度超標(biāo)時，自動 發(fā)出85dB以上的報警聲響。
4，同時支持一鍵消音；
5，強大的數(shù)據(jù)存儲功能，客戶可通過有線或無線連接，將數(shù)據(jù)打印或?qū)С?；國外進口芯片，精度高、穩(wěn)定性強、誤差率低；
6，多種信號傳輸，兼容90%以上廠家的氣體報警控制器、PLC、DCS、DDC等上位機系統(tǒng)；全量程溫濕度補償，32位納米級微處理器+24位超高ADC采集芯片，確保產(chǎn)品在運行過程的數(shù)據(jù)穩(wěn)定；
在線磷烷砷烷二合一氣體檢測儀深國安采用32位處理芯片，可以精準(zhǔn)識到可媲美分析儀級別的ppb濃度，深國安選用國外進口氣體傳感器，地保障了產(chǎn)品安全性和穩(wěn)定性，全量程溫濕度補償和深國安數(shù)據(jù)修正功能，確保不同環(huán)境下使用。
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