TA610測量平臺，齒條升降，立柱可以隨意轉動，用來測量不容易放置的工件，可提高測量精度。TA620測量平臺，絲桿升降，平臺上設置V型槽，用來測量形狀較小的工件，可提高測量平臺。TA630微調平臺，X—Y平面轉角，俯仰角。TA631微調平臺，X—Y平面轉角。TA630、631都用來較小幅度的，調整被測量工件的位置，提高測量精度。
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