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敞開式光柵尺

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更新時(shí)間：2024-06-02 08:20:51瀏覽次數(shù)：107次

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上海歐逸機(jī)電工程設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)計(jì)用于需要高精度測(cè)量的機(jī)床和系統(tǒng)，典型應(yīng)用包括：半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備PCB電路板組裝機(jī)超精密機(jī)床高精度機(jī)床測(cè)量機(jī)和比較儀，測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備直接驅(qū)動(dòng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品系	應(yīng)用
LIC	LIC敞開式直線光柵尺用于測(cè)量高速運(yùn)動(dòng)的行程達(dá)27 m內(nèi)的位置。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。
LIP	LIP敞開式直線光柵尺的測(cè)量步距非常小、精度和重復(fù)精度非常高。掃描方式為干涉掃描，測(cè)量基準(zhǔn)為DIADUR相位光柵。
LIF	LIF敞開式直線光柵尺的測(cè)量基準(zhǔn)是SUPRADUR玻璃基體光柵，掃描方式為干涉掃描。特點(diǎn)是精度和重復(fù)精度高，安裝簡(jiǎn)單，有限位開關(guān)和回零軌。特殊型號(hào)的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環(huán)境中（參見其單獨(dú)“產(chǎn)品信息”）。
LIDA	LIDA敞開式直線光柵尺特別適用于運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用，支持多種安裝方式，安裝簡(jiǎn)單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求，METALLUR光柵的基體可為鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位開關(guān)。
PP	PP雙坐標(biāo)編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)是一個(gè)平面DIADUR相位光柵，掃描方式為干涉掃面。用于測(cè)量平面中位置。