精密測量球面的曲率半徑的光學測量儀器。該儀器的測量原理是基于光學球面的頂點反射和表面反射成像原理而設(shè)計的。由于采用精密導軌和精密測長光柵尺,以及非接觸式的測量方法,保證了球面曲率半徑的微米級測長精度,并避免接觸測量所引入的測量誤差及表面劃傷。
儀器特色
非接觸測量 重復性好精度高 操作十分簡單
工作原理
本儀器是利用自準直顯微鏡分別瞄準被測球面的球心和頂點表面,經(jīng)球面反射后分別獲得的自準直像的二者距離進行測量的。顯微鏡測量系統(tǒng)是采用高精度直線導軌移動 , 讀數(shù)系統(tǒng)采用分辨率高達 0.001mm 高精度直線光柵測量得到的。
測量范圍
曲率半徑測量范圍: 凸面 R ≤ 30mm
凹面 R ≥ 25 至 1000 mm
被測透鏡夾持直徑: ¢ 5~ ¢ 150 mm
球面半徑測量精度
0~ 200mm 范圍內(nèi):± 0.003mm ;
≥ 200mm 范圍為:± 0.008mm ,
滿足樣板精度要求: ≤ 0.02%R(R ≥ 50 時 )
瞄準顯微鏡物鏡
類別 | 放大倍數(shù) | 數(shù)位孔徑 NA | 瞄準誤差(μ m ) | 工作距離( mm ) | 測量范圍( mm ) |
消色差
物鏡 | 4 X | 0.1 | 44 | 38.0 | R ≥ 500 |
10 X | 0.25 | 7 | 7.31 | R ≥ 100 | |
40 X | 0.65 | 1 | 0.50 | R ≥ 25 |
儀器讀數(shù)系統(tǒng)與規(guī)格
◆采用 1 米計量光柵讀數(shù),zui小示值: 0.001mm
◆電源: 220V
◆儀器外形尺寸: 1400*300*590mm
◆儀器重量: 50 kg