顯微硬度一般常用負荷為25，50，100，200，300，500和1000克力。對于特殊細微的試件需選用更小負荷，如10和5克力。一些的超微小硬度計，其負荷可達到0.1克力。這多用于對特殊試件或定性鑒別測定。

顯微硬度試驗所選用的負荷要視試樣或鍍層的厚度與硬度范圍而定。在試樣厚度允許的范圍內(nèi)盡量采用較大負荷，以便獲得較大尺寸的壓痕，從而減小測量的相對誤差。但對于過硬的物質(zhì)，如硬質(zhì)合金鋼、瑪瑙等高硬度材料不宜采用過大負荷，以免損壞壓頭。然而也不宜采用使所獲得壓痕之對角線小于10微米的負荷。特殊試樣和鍍層例外。壓痕過小，相對測量誤差大，而導致硬度示值的偏差就大。例如，若壓痕對角線的測量精度為±0.15微米，對于對角線為5微米的壓痕，其測量精度為±3%；而對于對角線為20微米的壓痕，其測量精度為±0.75%。選取試驗負荷時要針對材料硬度范圍而定。例如，對鋁試樣一般采用10克或20克負荷。相對應(yīng)得出的壓痕對角線長約為30—32微米和40—45微米；對于銅試樣一般采用20克或50克負荷，相對應(yīng)所得壓痕對角線分別為18—32微米和30—35微米。

在進行顯微硬度試驗時，需要指出的是，在負荷減小時，其所得壓痕對角線長度與負荷之比不是常數(shù)，即不符合相似定律。例如用鎳、銻、鐵、巖鹽分別以不同負荷進行試驗時，當負荷減小，即小于50克時，硬度值劇增，也有一些利用其它材料而得到相反的結(jié)果，或者隨著負荷的增大硬度值增高，增到一定值以后，又緩慢下降。這些現(xiàn)象多發(fā)生在小于50克的負荷時，即5—50克的時。也有些人認為顯微硬度示值之間的關(guān)系，至今仍沒有得到一致的全面的解釋。通常是從壓痕對角線小于10微米開始變化。因為10微米相當于一般晶體斷層的平均距離。所以在測定材料硬度值時，要在試樣厚度允許的范圍內(nèi)盡量使所得壓痕對角線大于10微米。

由于負荷減小時，其所得壓痕對角線長度與負荷比不是常數(shù)，所以在測定硬度值時一定得明確表明所得硬度值的負荷，以便于進行有效地比較。例如480HV0.1，即表示是以100克負荷所測得的維氏顯微硬度值為480。

顯微硬度雖不像溫度、熱量那樣是物理量，但是，這一反塑性變形的特性與物質(zhì)晶柵的能量和晶體結(jié)構(gòu)有明顯的關(guān)系。有些試驗結(jié)果表明硬度值隨著原子序數(shù)的變化而呈周期性的變化。