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上海超硅半導體股份有限公司(以下簡稱“上海超硅”或“公司”)于2008年成立于上海松江，多年潛心于集成電路用200mm/300mm大尺寸單晶硅晶體生長系統(tǒng)、人工晶體、半導體材料等相關領域產品的研發(fā)、生產與銷售，主要產品包括集成電路用200mm、300mm大尺寸拋光硅片、外延片、氬氣退火片等。項目生產工藝設備均置于潔凈廠房內，且噪聲級較小。噪聲源主要是冷凍機組、空壓機、真空泵、風機、水泵，以及應急發(fā)電機組等輔助動力設備。
生產區(qū)排風有一般廢氣(廢熱)排風和工藝排風。工藝排風分為酸性廢氣、堿性廢氣處理裝置布設在硅片生產廠房屋頂，凈化后的工藝廢氣經排氣筒排放。在工程設計上除采用風機減振臺基礎，通風機的進風和出風口均加設消聲器，接頭處采用柔性軟接頭；門窗均采用隔聲門、隔聲窗。對于設置在屋頂的風機，加設風機隔聲罩，以降低風機噪聲對周圍環(huán)境的影響。
01 控制噪聲源
控制噪聲源是防治噪聲的根本措施，具體措施包括：
采用較低噪聲設備：1. 工藝排氣設備采用較低噪聲的設備，保證風機1.5m范圍外噪聲低于85dB；2. 洗滌塔循環(huán)水泵采用較低噪聲的設備，保證水泵1.5m范圍外噪聲低于70dB。
隔離噪聲源：對于高噪聲源——電動機采取隔離措施，在電動機上設置防護罩，減少噪聲傳播。
02 控制噪聲傳播
通過以下措施控制噪聲傳播：
使用消聲材料：在洗滌塔機房的墻壁和房頂使用消聲材料，吸收或反射聲能。
設置隔振或減振裝置：在風機、循環(huán)泵、洗滌塔本體和風管的基礎與地面、墻壁聯接處設置隔振或減振裝置，防止通過固體傳播的噪聲。
03 個體防護
對于噪聲強度相對比較高的生產場所，佩戴個人防護用品是有效措施：
耳塞：由橡膠或軟塑料制成，隔聲效果可達25——30分貝。
耳罩：隔聲效果優(yōu)于耳塞，效果可達30——40分貝。
04 治理效果分析
該項目噪聲控制措施的關鍵在于將強噪聲源—應急柴油發(fā)電機、空壓機和真空泵等均布置在密閉的廠房內，采取了較嚴密的降噪措施；對于設置在屋頂的冷卻塔、通風機等，均采取了相應的減振、消聲措施，抓住了項目降噪的主體，又未忽視局部，所采取的措施是有效、合理可行的。
05相關證明文件
每年按照工作場所職業(yè)衛(wèi)生的要求對廢氣洗滌塔和風機區(qū)域進行噪聲檢測，均合格。
供稿：松江區(qū)生態(tài)環(huán)境局
原標題：上海第一批工業(yè)噪聲污染防治典型案例|上海超硅半導體股份有限公司廢氣洗滌塔和風機降噪案例
