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一、標(biāo)準(zhǔn)制定背景
上海市《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》自2007年發(fā)布實(shí)施后，對(duì)規(guī)范本市半導(dǎo)體行業(yè)廢水和廢氣處理處置起到了重要的作用。在標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施至今的這十幾年里，從國家到上海，環(huán)境管理要求和手段都發(fā)生了較大的變化，環(huán)境監(jiān)管能力提升迅速。體現(xiàn)在污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的控制上也有了新的要求，如揮發(fā)性有機(jī)物已經(jīng)成為國家和上海重要的大氣污染物監(jiān)管重點(diǎn)，不僅對(duì)有組織排放加強(qiáng)了管理要求，還提出了對(duì)無組織排放的管理要求。同時(shí)，半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝一直在向前發(fā)展，其工藝和原材料使用等方面都出現(xiàn)了新的變化，有必要通過標(biāo)準(zhǔn)的修訂，對(duì)控制因子進(jìn)行新一輪的篩定。
基于上述考慮，為加強(qiáng)本市半導(dǎo)體行業(yè)水和大氣的污染防治，進(jìn)一步改善本市水和大氣環(huán)境質(zhì)量，有必要對(duì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行修定。
二、標(biāo)準(zhǔn)制定歷程
根據(jù)地方環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)制修訂的有關(guān)程序，市生態(tài)環(huán)境局多次聽取有關(guān)部門、企業(yè)及專家的意見和建議，并于2021年3月和2022年9月兩次向全社會(huì)公開征求意見和書面征求意見，同步書面征求了國家行業(yè)主管部門、長三角地區(qū)、本市相關(guān)單位、科研院所、行業(yè)組織、排污單位等意見。2023年10月，市生態(tài)環(huán)境局和市市場監(jiān)管局組織召開了專家技術(shù)審查會(huì)，專家組一致同意該標(biāo)準(zhǔn)通過技術(shù)審查。
三、標(biāo)準(zhǔn)的適用范圍及主要內(nèi)容
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)水和大氣污染物排放控制要求、監(jiān)測以及標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施與監(jiān)督等內(nèi)容，適用于本市范圍內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)及研制線水和大氣污染物的排放管理，以及新建、改建、擴(kuò)建項(xiàng)目的環(huán)境影響評(píng)價(jià)、環(huán)境保護(hù)設(shè)施設(shè)計(jì)、竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收、排污許可證核發(fā)及其投產(chǎn)后的水和大氣污染控制與排放管理和半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)的污染物排放許可管理。
根據(jù)我國的《國民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分類》(GB/T 4754-2017)，本標(biāo)準(zhǔn)適用的行業(yè)為3972半導(dǎo)體分立器件制造和3973集成電路制造，并包括這兩類半導(dǎo)體產(chǎn)品的封裝測試行業(yè)。
四、標(biāo)準(zhǔn)的限值
水方面，本標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置了21項(xiàng)水污染物控制項(xiàng)目。其中，一類污染物7項(xiàng)，同修訂前標(biāo)準(zhǔn)；二類污染物14項(xiàng)，增加了石油類、總氮、總磷、陰離子表面活性劑4項(xiàng)常規(guī)因子及總鋅特征因子，刪除了BOD5。
大氣方面，本標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置13個(gè)有組織大氣污染物控制項(xiàng)目，新增氯氣、氰化氫、錫及其化合物、苯、苯系物、非甲烷總烴、顆粒物和氮氧化物等8項(xiàng)。設(shè)置了氰化氫、氯氣、氯化氫、非甲烷總烴等4項(xiàng)指標(biāo)的無組織控制限值。
五、標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施時(shí)間
新(改、擴(kuò))建的半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)自本文件實(shí)施之日即2024年5月1日起執(zhí)行；對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)擬自2024年10月1日起執(zhí)行。
六、標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施與監(jiān)督
本標(biāo)準(zhǔn)由生態(tài)環(huán)境主管部門負(fù)責(zé)監(jiān)督實(shí)施。
七、標(biāo)準(zhǔn)文本的獲取方式
標(biāo)準(zhǔn)頒布后，將會(huì)在市生態(tài)環(huán)境局網(wǎng)站上全文公布，大家可自行前往下載。
