硅晶片高溫真空烘箱，450度硅芯片充氮真空烤箱
產(chǎn)品特點：
- 迅速脫氧：該箱內(nèi)膽采用不銹鋼制造，箱壁接縫全部采用氬弧焊焊接，密封性能，能快速脫氧；
- 高效率：穩(wěn)定和快速的升溫性能，有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量和效率；
- 保溫節(jié)能：箱體與工作室之間填充高密度纖維棉作保溫材料，有效保濕節(jié)能；
- 密封性好：箱門與工作室外框設(shè)有耐高溫?zé)o塵密封條和壓緊裝置，有效地保證了箱體的密封性能；
- 置物架：工作室內(nèi)設(shè)計可抽取的載物網(wǎng)板；
- 美觀簡潔：設(shè)備外形美觀，操作簡便，控溫靈敏準(zhǔn)確；
主要技術(shù)參數(shù)：
1：電源：AC380V 3φ 50HZ 18KW
2：工作尺寸：W560×D640×H600
外形尺寸：W910×D990×H1865
3：溫度范圍：RT+10℃～450℃
4：升溫速率：2 ℃/minute～4 ℃/minute
5：降溫速率：2 ℃/minute～4 ℃/minute(400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)
6：外壁材料： 冷扎碳鋼板，經(jīng)防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷;
7：內(nèi)膽材料： 5mm厚，SUS304不銹鋼，不銹鋼內(nèi)外表面拋光;
8：保溫材料：厚度150毫米硅酸保溫棉，保溫性能良好;
9：門:真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護.(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次)
10：真空泵: LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);
11：真空度: ≤10 pa；
12：加熱元件：四面輻射加熱;
13：電器系統(tǒng)：系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮氣啟停；
14：溫控輸出：SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器
15：安全保護：加熱電流過流、系統(tǒng)短路保護、電壓過壓保護、真空泵過負(fù)載、缺相保護、電爐超溫報警等功能。
硅晶片高溫真空烘箱，450度硅芯片充氮真空烤箱
