電子廠車間之防火要求:
1)電子工廠無塵車間中,有使用丙酮、異丙醇等易燃化學(xué)品的潔凈室,這些化學(xué)品均屬甲類,因此將電子工廠無塵車間設(shè)有這些化學(xué)品的儲(chǔ)存間、分配間列為甲類。
2)電子工廠潔凈廠房中,尤其在半導(dǎo)體類型無塵車間中常常使用H”S1H4. AsH3、PH3等町燃、有毒氣體,它們均屬可燃?xì)怏w、有毒氣體,因此將電子工廠無塵車間中設(shè)有可燃、有毒氣體的儲(chǔ)存、分配間列為甲類。
3)半導(dǎo)體器件、集成電路工廠的外延間,由于其生產(chǎn)過程中需使用H2. SiH4等可燃?xì)怏w,它們的著火下限均低丁10%,因此外延間理應(yīng)列為甲類,但是近年來,隨著科學(xué)技術(shù)進(jìn)步,半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所采用的外延設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造技術(shù)的不斷提高;各種氣體供應(yīng)、控制系統(tǒng)、設(shè)備和附件設(shè)計(jì)、制造技術(shù)的不斷提高,氣體報(bào)警設(shè)施的安全可靠性的長(zhǎng)足進(jìn)步和提高。據(jù)調(diào)查表明:半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所采用的外延設(shè)備已配置有氫氣泄漏和排放超濃度報(bào)警、連鎖控制裝置以及滅火裝置等;半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)用外延間的氫氣供應(yīng)管路設(shè)有緊急切斷閥,一旦發(fā)生事故、火情時(shí),自動(dòng)切斷氫氣供應(yīng);外延問按建筑特點(diǎn)在可能積聚氫氣處設(shè)置氯氣報(bào)警裝置和事故排風(fēng)連鎖控制裝置等安全技術(shù)措施。所以制定時(shí),考慮到在具備上述安全技術(shù)措施的條件下,宜將半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)等所使用外延問列為丙類。