系統(tǒng)安裝簡單,易于維護;
不破壞操作間的溫度和濕度環(huán)境;
單工位氣體流量可調(diào);
每工位采用防靜電手臂或不銹鋼手臂實用并美觀;
主機氣路結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計;
過濾精度高:0.3微米顆粒的過濾效率達(dá)99.997%;
高效合成氣體過濾能有效去除有害氣體和吸附異味;
連續(xù)精確的PMW調(diào)速,方便匹配系統(tǒng),適合更復(fù)雜的輔助生產(chǎn)工藝;
業(yè)內(nèi)優(yōu)勢的噪音控制;
可根據(jù)客戶不同的需求量身訂制;