自動對焦,保證測量精確性;
型號 | IVG2010 | IVG3020 | IVG4030 | IVG5040 | |
行程(mm) | 200×100×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | |
外部尺寸(mm) | 1040X740X1620 | 1040X740X1620 | 1240X800X1620 | 1440X1000X1620 | |
承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 | |
測量精度 | XY軸 | (2.5+L/200)µm | |||
Z軸 | (5+L/200)µm | ||||
CCD | 百萬像素彩色CCD | ||||
光學(xué)系統(tǒng) | NAVITAR鏡頭,光學(xué)放大倍率:0.5x - 4x,總放大倍率:36x - 288x | ||||
光源 | 輪廓光 | LED方形光源,亮度可調(diào) | |||
表面光 | 多角度LED環(huán)形光源,亮度可調(diào) | ||||
光柵尺分辨率 | 0.5µm | ||||
運動控制 | 多軸高精度運動控制卡 | ||||
軟件 | microscopeium | ||||
電源 | 220V/50Hz | ||||
工作環(huán)境 | 溫度20℃±2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度40~80% | ||||
振動<0.002g,低于15Hz |