在很多超純氣應(yīng)用,諸如半導(dǎo)體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對(duì)于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來,對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量都是個(gè)難點(diǎn),需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案,用來在線測(cè)量露點(diǎn)值,下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。 Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn),結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的*適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。 | |
![]() | 測(cè)量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV) 測(cè)量穩(wěn)定,重復(fù)性好 高度集成的采樣裝置 模擬和數(shù)字輸出 安裝簡(jiǎn)便 VCR 過程接口 設(shè)計(jì)緊湊小巧 顯示/報(bào)警單元可選 |
傳感器 | |
傳感器類型 | 密析爾陶瓷濕度傳感器 |
量程 | -120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C) |
精度 | ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值) |
分辨率 | 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C |
壓力 | zui低 10-9 torr; zui大 24 MPa |
氣體流量 | 1 ~ 5 Nl/min |
電氣 | |
電源 | 通常 24 V DC, zui低10 V ~ zui高28 V , zui大電流 25 mA |
輸出 | 4-20 mA 輸出, 對(duì)應(yīng)范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供) zui大負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8) |
輸出出錯(cuò)狀態(tài) | 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 |
機(jī)械性能 | |
傳感器套筒 | 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光 |
氣路連接端口 | Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口 |
安裝配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙 底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對(duì)面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中 |
尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm |
重量 | Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g |
包裝 | Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝 所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作 |
訂貨號(hào) | PUR-TX |
ROTRONIC 瑞士羅卓尼克為您提供全系列的溫濕度測(cè)量產(chǎn)品:溫濕度變送器、記錄器、手持表、指示器、探頭、傳感器和濕度發(fā)生器,用于測(cè)量和校準(zhǔn)相對(duì)濕度、溫度、露點(diǎn)、水分活度和各種濕度學(xué)參數(shù)。
ROTRONIC 瑞士羅卓尼克的溫濕度產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于暖通(HVAC)、智能管理系統(tǒng)(BMS)、生產(chǎn)和過程控制、氣象、食品安全和制藥等。 ROTRONIC 瑞士羅卓尼克的產(chǎn)品基于*的 HC2 數(shù)字技術(shù),代表了*的濕度學(xué)參數(shù)測(cè)量技術(shù),以高精度、高穩(wěn)定性著稱于世。
徽科特儀表線的產(chǎn)品全部為自主研發(fā)、生產(chǎn),包括數(shù)顯儀、控制儀、記錄儀、巡檢儀等數(shù)十個(gè)產(chǎn)品系列。為了更好地滿足應(yīng)用需求,提升產(chǎn)品的性價(jià)比,加深與客戶的合作層面,公司始終將柔性化設(shè)計(jì)作為一項(xiàng)重要的工作內(nèi)容,數(shù)年來積累了豐富的研發(fā)和管理經(jīng)驗(yàn),在此基礎(chǔ)上形成的非標(biāo)產(chǎn)品和OEM產(chǎn)品已成為公司重要的差異化競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)之一,占到產(chǎn)品銷售量的30%左右。
徽科特露點(diǎn)線的產(chǎn)品主要為在線露點(diǎn)變送器;便攜露點(diǎn)儀;高性能露點(diǎn)變送器;高精度露點(diǎn)變送器;濕度校準(zhǔn)裝置等。產(chǎn)品廣范應(yīng)用到天然氣工業(yè)、半導(dǎo)體處理、發(fā)電廠、氣體壓縮、鋁電行業(yè)、實(shí)驗(yàn)室等眾多領(lǐng)域。
無錫徽科特測(cè)控技術(shù)有限公司(Wuxi Huikete M&C-Tech Co., Ltd.)專致于瑞士ROTRONIC羅卓尼克產(chǎn)品的銷售和技術(shù)服務(wù),我們立足于中國經(jīng)濟(jì)較活躍的電子生產(chǎn)基地—無錫市,以較新的技術(shù)資訊和服務(wù)理念面對(duì)需求的用戶,精選Z適合的方案和服務(wù)提供給客戶比較、參考。 期望我們提供的相應(yīng)方案、服務(wù)能夠得到您的認(rèn)可。