實(shí)驗(yàn)室工程簡(jiǎn)介:
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率*之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重?! ?span lang="EN-US">
優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定?! ?span lang="EN-US">
缺點(diǎn):建造費(fèi)用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
(2)垂直層流式:房間天花板*以ULPA過(guò)濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域?! ?span lang="EN-US">
優(yōu)點(diǎn):管理容易,運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn):構(gòu)造費(fèi)用較高,彈性運(yùn)用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過(guò)濾器較麻煩。
潔凈度等級(jí)參照表 | |||||||
空氣潔凈度等級(jí) | 大于或等于表中粒徑的zui大濃度限值(pc/m3) | ||||||
ISO標(biāo)準(zhǔn) | 中國(guó)標(biāo)準(zhǔn) | 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um |
1級(jí) | | 10 | 2 | | | | |
2級(jí) | (一級(jí)) | 10 | 24 | 10 | 4 | | |
3級(jí) | (五級(jí)) | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
4級(jí) | (十級(jí)) | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
5級(jí) | (百級(jí)) | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |