FT-331四探針方塊電阻測試儀
一.描述：
采用范德堡測量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差，提供通訊接口，PC軟件數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)分析.中文或英文語言版本.
二.參照標(biāo)準(zhǔn)：
硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造；GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
三.適用范圍：
適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具；液晶顯示，自動(dòng)測量和系數(shù)補(bǔ)償，并帶有溫度補(bǔ)償功能，自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程；采用AD芯片控制，恒流輸出，選配：PC軟件，保存和打印數(shù)據(jù)，生成報(bào)表
用于：覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測試等相關(guān)產(chǎn)品
四.方塊電阻測試儀型號及參數(shù)
| 規(guī)格型model | FT-331 |
| 1.方塊電阻范圍Sheet resistance | 10-5～2×105Ω/□ |
| 2.電阻率范圍 | 10-6～2×106Ω-cm |
| 測試電流范圍 | 0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
| 4.電流精度 | ±0.1%
|
| 5.電阻精度 | ≤0.3% |
| 6.顯示讀數(shù) | 液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 |
| 7.測試方式 | 普通單電測量 |
| 8.工作電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W |
| 9.誤差 | ≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果） |
| 10.選購功能 | 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺；5.標(biāo)準(zhǔn)電阻. |
| 11.測試探頭 | 探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針 |
