LW400LJT/LW400LMDT大平臺無窮遠芯片檢查金相顯微鏡
大平臺無窮遠芯片檢查顯微鏡是適用于半導體晶圓的檢驗、芯片封裝、電路基板、材料等行業(yè)?？蛇M行偏光與明視場、暗視場觀察轉換。專門設計的大移動范圍載物臺，移動范圍:8"×8"(204mm×204mm)，滿足半導體行業(yè)的需求。粗微動同軸調(diào)焦機構，粗動松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動格值:0.7μm。三目鏡筒，可進行99%透光攝影。
標準配置
技術規(guī)格 | |||
目鏡 | 大視野 WF10X(視場數(shù)Φ22mm) | ||
無限遠長距平場消色差物鏡 | LW400LJT | PL L5X/0.12 工作距離：26.1 mm | |
PL L10X/0.25 工作距離：20.2 mm | |||
PL L20X/0.40 工作距離：8.80 mm | |||
PL L50X/0.70 工作距離：3.68 mm | |||
PL L80X/0.80 工作距離：1.25 mm | |||
LW400LMDT | PL L5X/0.12 BD 工作距離：9.70 mm | ||
PL L10X/0.25 BD 工作距離：9.30 mm | |||
PL L20X/0.40 BD 工作距離：7.23mm | |||
PL L50X/0.70 BD 工作距離：2.50 mm | |||
PL L80X/0.80 BD 工作距離：1.25 mm | |||
目鏡筒 | 三目鏡30?傾斜, 可99%通光攝影 | ||
落射照明系統(tǒng) | LW400LJT | 6V30W鹵素燈，亮度可調(diào) | |
LW400LMDT | 12V50W鹵素燈，亮度可調(diào) | ||
內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄、(黃、藍、綠、磨砂玻璃)濾色片轉換裝置，推拉式檢偏器與起偏器 | |||
調(diào)焦機構 | 粗微動同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:0.7μm | ||
轉換器 | 五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) | ||
載物臺 | 機械式載物臺，外形尺寸：280mmX270mm，移動范圍：橫向（X）204mm，縱向（Y）204mm | ||
