μ Phase高精度干涉儀用于測(cè)量高精度要求的光學(xué)零件，材料包括玻璃、塑料、金屬、陶瓷等，被國(guó)家，以及各大天文、光電研究所應(yīng)用于精密光學(xué)檢測(cè)，測(cè)量精度及穩(wěn)定性已得到研究機(jī)構(gòu)的廣泛肯定。
應(yīng)用范圍：
可用于測(cè)量平面和球面光學(xué)零件
可完成各種類(lèi)型的反射和透射檢測(cè)
可采用透射法檢測(cè)雙膠合透鏡
曲率半徑測(cè)量
非球面、柱面、輪胎面等面型的測(cè)量
大型平面的檢測(cè)
光學(xué)材料的均勻性檢測(cè)
理想的成盤(pán)拋光分塊鏡面型檢測(cè)
典型應(yīng)用
μPhase® SPHERO UP， μPhase® PLANO UP，μPhase® Plano Down
l 用于測(cè)量不同的平面和球面光學(xué)零件
l 操作直觀而簡(jiǎn)單，適合非專(zhuān)業(yè)人士操作
l 測(cè)量范圍：
μPhase® Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm
μPhase® PLANO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm
μPhase® SPHERO UP：球面，曲率半徑（凸面）2mm—225mm，直徑55mm
球面，曲率半徑（凹面）-3mm—-570mm
l 結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間下，可靈活的與產(chǎn)線結(jié)合
μPhase® Vertical
l 適用于廠房、車(chē)間、實(shí)驗(yàn)室的標(biāo)準(zhǔn)干涉儀檢測(cè)系統(tǒng)
l 立式檢測(cè)，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小
l 標(biāo)配一個(gè)沿Z軸方向電動(dòng)平移的平臺(tái)，可選配第二個(gè)平臺(tái)
l 傾斜及X/Y平移精調(diào)
l 可完成各種類(lèi)型的反射與透射檢測(cè)
l 可采用透射法檢測(cè)雙膠合透鏡
l 凹面與凸面球面鏡的檢測(cè)范圍：標(biāo)準(zhǔn)曲率半徑范圍：1mm-225mm，直徑55mm（采用50mm物鏡μLens PLANO 50）
l 集成半徑測(cè)量單元
l 可選CGH，用于測(cè)量非球面、柱面、輪胎面等
l Z軸方向設(shè)置導(dǎo)軌電機(jī)，電動(dòng)升降
l 曲率半徑實(shí)現(xiàn)一鍵式自動(dòng)測(cè)量
μPhase® UNIVERSAL 100
l 用于測(cè)量平面和球面的4英寸干涉檢測(cè)系統(tǒng)
l 球面測(cè)量范圍：凹面曲率半徑-3000mm（提供相應(yīng)導(dǎo)軌）
l 平面測(cè)量范圍：98mm
l 半徑測(cè)量系統(tǒng)集成導(dǎo)軌和光柵尺
l 適合長(zhǎng)焦光學(xué)零件和系統(tǒng)的檢測(cè)
l 與市場(chǎng)上通用的4英寸標(biāo)準(zhǔn)球面物鏡相兼容
l 可選旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)非球面的檢測(cè)配件，檢測(cè)范圍10mm-80mm，CGH檢測(cè)輪胎面、柱面等
μPhase® Plano 300
l 理想的大型平面的檢測(cè)系統(tǒng)，光學(xué)材料的均勻性檢測(cè)系統(tǒng)
l 理想的成盤(pán)拋光分塊鏡面形檢測(cè)系統(tǒng)
l 測(cè)量范圍60-300mm
l 立式檢測(cè)系統(tǒng)，其它檢測(cè)方式根據(jù)要求可訂制
l 具有重型光學(xué)元件的支承、調(diào)整等操作功能。
技術(shù)規(guī)格：
| 測(cè)量原理 | 泰曼格林型相移式干涉儀，可轉(zhuǎn)成菲索型 |
| 測(cè)量能力 | 光學(xué)反射面的面形、光學(xué)零件或系統(tǒng)的透過(guò)波前 |
| 激光波長(zhǎng) | 標(biāo)配632.8nm，335nm-1064nm間波長(zhǎng)可選 |
| PV重復(fù)精度 | λ/400（λ=632.8nm） |
| RMS重復(fù)精度 | λ/6500（λ=632.8nm） |
| 測(cè)量不確定度 | λ/20（λ=632.8nm） |
| 相機(jī)分辨率 | μPhase® 500：500×500像素 μPhase® 1000：1000×1000像素 |
| 數(shù)字化位 | 8位 |
| 激光器類(lèi)型 | 穩(wěn)頻氦氖激光器 |
| 激光器防護(hù)等級(jí) | 3A |
