晟爾斯sensaras多點(diǎn)超聲波液位計(jì)PLS960(PLS9600)的產(chǎn)品描述 

超聲波侵入式多點(diǎn)液位系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中PVD、CVD、ALD等工藝所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐內(nèi)高純度化學(xué)品液位的高精度和高可靠性的測量。液位系統(tǒng)在化學(xué)氣相沉積過程中至關(guān)重要，如ALD，CVD，PVD等半導(dǎo)體晶圓制造過程。PLS960系列多點(diǎn)液位系統(tǒng)專業(yè)用于檢測非常昂貴的超高純度化學(xué)品（DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、DTEOS、DECT、TCA和金屬化初級(jí)粒子等）的準(zhǔn)確數(shù)量，減少化學(xué)廢物，增加產(chǎn)量和利潤。

 產(chǎn)品特點(diǎn) 
 

• 通過超聲波回波處理技術(shù)檢測液體在容器中的存在狀態(tài)
• 不受被測物的介電常數(shù)、顏色、密度和粘度等參數(shù)影響
• 探頭采用316L 不繡鋼材質(zhì)，通過?”或?” VCR與容器連接
• 探頭采用套筒式或叉式結(jié)構(gòu)，一體式設(shè)計(jì)，無可移動(dòng)部件
• 模塊與探頭分離，無需校準(zhǔn)，易安裝
• 的套管設(shè)計(jì)可根據(jù)用戶不同點(diǎn)位的要求定制

晟爾斯sensaras多點(diǎn)超聲波液位計(jì)PLS960(PLS9600)的 主要應(yīng)用 
 

• 多點(diǎn)液位測量
• 高位/溢出報(bào)警
• 低位/停止、再進(jìn)料
• 半導(dǎo)體行業(yè)和醫(yī)藥制藥行業(yè)

 技術(shù)規(guī)格 

電路：    輸       入： 24VDC
            輸       出： 每點(diǎn)1A SPDT
                               1A SPDT 報(bào)錯(cuò)點(diǎn)或自動(dòng)進(jìn)料/退料
                                本地溫度顯示可選
                                可高達(dá)7點(diǎn)液位顯示和報(bào)錯(cuò)顯示
                                針對不同液體也無需校準(zhǔn)
            重  復(fù)  性： +/- 0.04”(1mm)（典型）
            精        度： +/- 0.06 (1.5mm)
            電流消耗：*大250mA（典型）

探頭：    材        質(zhì)： 316L不銹鋼
            3/4" VCR連接結(jié)構(gòu)可達(dá)到7個(gè)液位檢測點(diǎn)
            1/2" VCR連接結(jié)構(gòu)可達(dá)到4個(gè)液位檢測點(diǎn)
            多于7個(gè)點(diǎn)的檢測請與我們聯(lián)系，可定制達(dá)16個(gè)點(diǎn)
            K-type SLE 溫度傳感器（可選）
            *低液位檢測點(diǎn)可置于探頭末端向上5毫米
            兩個(gè)液位檢測點(diǎn)*小距離可為2.5毫米
            *大長度： 600毫米，若需更長尺寸與我們聯(lián)系
            溫        度： 0° to 125°C (標(biāo)準(zhǔn))，達(dá) 160°C的定制請與我們聯(lián)系

 尺寸圖