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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱

參考價(jià) 98980
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2024/11/28 11:06:38
  • 訪問次數(shù)727
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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司(以下簡(jiǎn)稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國(guó)內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶的*好評(píng),更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級(jí)潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦?,高溫?zé)o氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺(tái),快速高低溫氣流儀,超低溫試驗(yàn)箱高低溫試驗(yàn)箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測(cè)儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導(dǎo)體直流電阻測(cè)試儀,電線電纜檢測(cè)儀器,真空烘箱,黑蒜試驗(yàn)機(jī),橡塑檢測(cè)試驗(yàn)機(jī)等。
    不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力,做一個(gè)專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長(zhǎng)足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國(guó)的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì),以飽滿的熱情、真誠(chéng)的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來!






HMDS烘箱,百級(jí)潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦?,高溫?zé)o氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺(tái),超低溫試驗(yàn)箱
材質(zhì) 不銹鋼316 工作室尺寸 300-1000mm
功率 2800 加工定制
類型 真空 適用范圍 半導(dǎo)體,電子,醫(yī)療,新材料
溫度范圍 200℃ 重量 290kg
HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱在晶圓上行噴涂hmds預(yù)處理的工藝,將晶圓表面親水性的置換為疏水性的,使晶圓表面接觸角達(dá)到65或更高。
HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱 產(chǎn)品信息

      在集成電路制造的光刻工藝中,為了保證光刻膠在晶圓處理過程中更好的完成圖形轉(zhuǎn)移,需要在晶圓上行噴涂hmds預(yù)處理的工藝,將晶圓表面親水性的置換為疏水性的,使晶圓表面接觸角達(dá)到65或更高。

      HMDS 可以通過旋轉(zhuǎn)稀釋溶液直接涂在晶片上,并允許 HMDS 旋轉(zhuǎn)干燥(HMDS 在室溫下非常易揮發(fā))。如果 HMDS 不適當(dāng)干燥,則會(huì)導(dǎo)致顯著的附著力損失。雖然直接旋涂很容易,它僅在置換一小部分硅烷醇基團(tuán)時(shí)有效。迄今為止,施加增粘劑的優(yōu)選方法是將基材置于 HMDS 蒸汽中,通常是在升高溫度和降低壓力下。這樣在沒有過多 HMDS 沉積的情況下對(duì)基材進(jìn)行良好的涂覆,并且更高的溫度會(huì)導(dǎo)致與硅烷的反應(yīng)更。用 HMDS 正確處理后,基材可以放置數(shù)天而不會(huì)明顯重新吸附水。在同一HMDS氣相成底膜烘箱中進(jìn)行脫水烘烤和蒸汽灌注可提供性能。

HMDS氣相成底膜烘箱  真空HMDS氣相烘箱適用產(chǎn)品

硅片、磷化銦lnP、砷化鎵GaAs、鈮酸鋰LiNbO?、硫化鋅ZnS、掩膜版、玻璃、石英片、藍(lán)寶石、晶圓、碳化硅等第三代、第四代半導(dǎo)體材料等。

HMDS氣相成底膜烘箱  真空HMDS氣相烘箱性能

HMDS藥液泄漏報(bào)警提示

HMDS低液位報(bào)警提示

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

藥液管道預(yù)熱功能

程序鎖定保護(hù)等功能

產(chǎn)品兼容性:1-12寸產(chǎn)品、方片、碎片及大型面板(可定制)

溫度范圍:RT-200℃

真空度:1torr

操作方式:人機(jī)界面,一鍵運(yùn)行

HMDS控制:可控制HMDS 藥液添加量

真空泵:無油渦旋真空泵

附件功能:圖像反轉(zhuǎn)功能


關(guān)鍵詞:人機(jī)界面 真空泵
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