科里奧利質(zhì)量流量計(jì)(Coriolis Mass Flow meter)可以對(duì)流體介質(zhì)的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的測(cè)量和精密的控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
產(chǎn)品特點(diǎn)
直接測(cè)量質(zhì)量流量,精度高
重復(fù)性好,量程比寬
對(duì)流體介質(zhì)的溫度、壓力和粘度等不敏感
測(cè)量流體介質(zhì)廣泛
模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量
產(chǎn)品參數(shù)