型號：OTF-1200X-II-ZL
產(chǎn)品概述：OTF-1200X-II-ZL是一款爐管可在爐管內(nèi)部移動的（在真空氣氛保護(hù)環(huán)境下移動）管式爐，最多可依次移動4個坩堝。特殊的坩堝推送機(jī)構(gòu)，可將坩堝在爐管內(nèi)推出后再拉回，讓坩堝能做往返移動。坩堝移動位置&爐體的溫度控制都采用一觸摸屏控制。此款設(shè)備可進(jìn)行物理化學(xué)混合沉積（HPCVD），快速熱蒸發(fā)（RTE）等實(shí)驗(yàn)，特別適合制備多層二維晶體材料。
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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
| 開啟式管式爐 | -
雙溫區(qū)管式爐：兩個獨(dú)立的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制兩個溫區(qū) -
加熱區(qū)長度：溫區(qū)1:200mm, 溫區(qū)2:200mm -
爐管材料：高純石英 -
爐管尺寸：外徑: 60 ×內(nèi)徑: 54×長: 760 mm -
溫度曲線圖(兩個溫區(qū)設(shè)置在800℃時所測，僅供參考）（可點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）） -
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工作溫度：1200℃（<1hr) -
連續(xù)工作溫度：1100℃ -
控溫精度：+/-1℃ -
 
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| 真空密封 | -
配有不銹鋼密封法蘭，上面安裝有不銹鋼截止閥和機(jī)械壓力表 -
進(jìn)氣端法蘭接口為Φ6.35卡套接頭，出氣端法蘭接口為KF25接口 -
法蘭密封圈采用水冷卻，使用時需要通入冷卻水，可在本公司選購循環(huán)水冷機(jī) -
真空度：10E-2 torr（采用機(jī)械泵），10-E5 torr(采用分子泵) -
  
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| 坩堝移動機(jī)構(gòu)（轉(zhuǎn)輪式法蘭） | -
一根鎧裝熱電偶通過左端法蘭通入到爐管內(nèi)部，并與坩堝相連接(圖1) -
通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動使坩堝移動，并和熱電偶和坩堝一起移動，實(shí)時監(jiān)測樣品的溫度 -
進(jìn)氣端法蘭轉(zhuǎn)輪式法蘭（圖2） -
可同時在轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)中放入4個坩堝，可交替將放入4種材料的石英坩堝自動送入到石英管中（可在真空狀態(tài)或氣氛保護(hù)狀態(tài)進(jìn)行運(yùn)作）
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| 坩堝移動控制 |
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| 防腐型數(shù)顯真空計(jì) | -
配有一數(shù)顯防腐型真空計(jì) -
當(dāng)氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換 -
對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復(fù)性 -
因?yàn)閭鞲衅魃襄冇型繉?，所以具有較好的抗腐蝕性 -
測量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr
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| 混氣系統(tǒng) |
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| 產(chǎn)品尺寸 | 2400L×600W×1300mm H
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| 國家 | |
| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包含爐管，密封圈和加熱元件） |
| 質(zhì)量認(rèn)證 |
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| 使用注意事項(xiàng) | -
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa -
由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 -
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) -
進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 -
石英管的長時間使用溫度＜1100℃ -
對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
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| 應(yīng)用注意事項(xiàng) | |
