天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷德國aixACCT雙光束激光干涉儀-TF系列
德國aixACCT雙光束激光干涉儀-TF系列
主要型號:
TF 3000、TF 2000 E、TF 1000
相關(guān)產(chǎn)品介紹:
雙光束激光干涉儀
aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng),以進(jìn)行長達(dá)8英寸的晶圓表征。
用于測量d 33的雙光束激光干涉儀(aixDBLI)提供經(jīng)過驗證的精度(x切割石英),max可達(dá)0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點是單次測量的采集時間僅為幾秒鐘。基于新的數(shù)據(jù)采集算法,測量速度提高了100倍。這使得 比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機(jī)械數(shù)據(jù)。由于差分測量原理,消除了樣品彎曲的影響,這是使用原子力顯微鏡(AFM)進(jìn)行此類測量的主要障礙。
測量:
-機(jī)電大信號應(yīng)變和極化測量。
-壓電小信號系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關(guān)系。如果剛度值已知,則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。
-電氣和機(jī)電性能疲勞。
aixDBLI系統(tǒng)的*性能使其適用于6“晶片上的MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))設(shè)備的壓電和電氣可靠性測試。該系統(tǒng)的 分辨率和可重復(fù)性優(yōu)于2%,可大規(guī)模生產(chǎn)。整個裝置包括位于減振室內(nèi)的光學(xué)組件,TF Analyzer 2000和一些附加的模擬電路。
隨著我國工業(yè)自動化水平、高科技產(chǎn)品的高速發(fā)展,我們意識到引進(jìn)新技術(shù)和高科技產(chǎn)品的重要性。所以,瑞利光電自成立之初便憑借著對國內(nèi)和市場的深入調(diào)研和了解,在經(jīng)營理念、管理制度、貿(mào)易接洽、人才任用等方面都擁有較大的競爭力,并確立了明確的戰(zhàn)略目標(biāo)。