◎ 晶圓倒角單元采用側向進給磨削原理,兼容中?4'' / ?6'' / ?8''(Φ100~Φ200)晶圓倒角加工。
◎ 設備配有精密在線測量厚度儀單元和CCD視覺模組,加工時先測量產品厚度和精確定位圓心控制倒角角度。加工完后可測量直徑,真圓度,直線邊到圓心尺寸,倒角邊尺寸。
◎ 設備具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能,滿足各類工藝需求。
◎ 設備核心磨削主軸、承片主軸及視覺定位和測厚系統都是自主研發(fā)生產。
◎ 全自動上下料和不良品下料工位。可進行0.4mm-1.5mm厚的晶圓雙面倒角加工。
◎ 配置了觸摸式液晶顯示器,提高了操作便利性??刂飘嬅婵赏斤@示加工狀況和設備狀態(tài),操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕,就可以簡單地完成操作。