型號(hào):SP-50KT // SP-85KTC
產(chǎn)品概述:溫控型感應(yīng)加熱/熔煉系統(tǒng),帶進(jìn)料前級(jí)系統(tǒng)和熔煉攪拌裝置。石英前級(jí)腔室可將各種原材料導(dǎo)入到熔煉坩堝內(nèi),而不影響主腔室的環(huán)境。
名稱 | 溫控型真空感應(yīng)加熱爐系列 | ||||
視頻 |
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型號(hào) |
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感應(yīng)電源 | ·工作電壓:380V,50Hz,三相 ·空氣開(kāi)關(guān):需要100A空氣開(kāi)關(guān) ·輸入功率: 15KW ·輸出頻率:30-80kHz ·保護(hù)系統(tǒng):帶有自動(dòng)水壓、過(guò)熱、功率過(guò)高保護(hù)
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溫控系統(tǒng)和熱電偶 | ·精密數(shù)顯溫控系統(tǒng),采用PID調(diào)節(jié)方式 ·可設(shè)置30段升降溫程序 ·帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù) ·控溫精度:±5 oC ·熱電偶: C 型熱電偶 (Φ6.35x400mmL ) ·連續(xù)工作溫度.: 1000oC~1900oC ·溫度:2000oC(<30min) ·升溫速率: 1度/秒 1000-1200oC; 1度/2秒 1200oC-1500oC ; 1度/4秒 1500oC-2000oC
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石墨坩堝,耐火材料和防護(hù)罩 |
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密封法蘭和石英腔體 |
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真空計(jì) | ·防腐真空計(jì),測(cè)量范圍3.8*10E-5托 ·一個(gè)輸出電壓24v、1A直流電源適配器。適配器的輸入電壓是單相110~240v。
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浮子流量計(jì) | 緊湊型直讀浮子流量計(jì),100-1000scc/min。精度:4%。 | ||||
泄壓閥 | 為了安全考慮,在腔體內(nèi)安裝泄壓閥,當(dāng)壓力大于0.02MPa時(shí),閥門(mén)會(huì)自動(dòng)釋放壓力,保證安全。 | ||||
循環(huán)水冷機(jī)(可選) | ·溫度范圍:5~30℃ ·水流量:16L/min ·水箱:不銹鋼材質(zhì),容積為12L。
注意:建議使用特定的冷卻液以獲得性能。在幾次加熱試驗(yàn)后,等待幾分鐘冷卻屬于正?,F(xiàn)象
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真空泵(可選) | ·標(biāo)配一個(gè)2.2L/s的雙級(jí)旋葉片真空泵 ·電壓:AC 208-240V 50Hz,單相 ·功率:0.4KW
另有多種真空泵,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊下圖選擇
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產(chǎn)品尺寸 | 整體機(jī)器外形尺寸:700(L)* 1300(W)* 1200(H)
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凈重 | 100Kg | ||||
質(zhì)保期 | 一年保修,終身技術(shù)支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ntentId=41.html"> | ||||
認(rèn)證 |
如果客戶需要通過(guò)MET認(rèn)證,需自行支付認(rèn)證費(fèi)用,具體價(jià)格請(qǐng)聯(lián)系我們的銷售代表。
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)包括:1)感應(yīng)加熱器:UL61010-1 & UL499;2)真空泵:UL1450;3)冷水機(jī)組:UL61010 & UL1995 | ||||
注意事項(xiàng) | ·為了保護(hù)石墨坩堝和C熱電偶,在整個(gè)實(shí)驗(yàn)過(guò)程必須在流動(dòng)惰性氣氛環(huán)境中進(jìn)行。氣體流量應(yīng)限制在< 200SCCM
·C型熱電偶是耗材,不在我們的保修范圍內(nèi)
·熔融時(shí)間和溫度與材料、坩堝、耐火材料絕緣等有關(guān)。如果你不知道感應(yīng)加熱器是否能熔化你的樣品,請(qǐng)聯(lián)系我們的工程師咨詢
·感應(yīng)熔融系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是在真空和低壓下使用< 0.02 Mpa / 0.2 Bar/ 3psi
·必須在氣缸上安裝減壓閥,將壓力限制在3psi以下,以保證安全運(yùn)行。點(diǎn)擊這里了解氣體調(diào)節(jié)器的安裝
·當(dāng)出氣口關(guān)閉,爐腔內(nèi)存在正壓狀態(tài)時(shí),不要加熱爐子。在加熱過(guò)程中,必須使用壓力表來(lái)密切監(jiān)測(cè)室內(nèi)情況;一旦燃燒室壓力超過(guò)3psi,請(qǐng)立即打開(kāi)氣體釋放閥門(mén),以防止不可預(yù)見(jiàn)的損壞 | ||||
應(yīng)用 | ·PVT(物理蒸氣運(yùn)輸)系統(tǒng)通過(guò)改變一個(gè)合適的坩堝,使其能夠成為生長(zhǎng)長(zhǎng)型碳化硅晶體,請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖片或問(wèn)我們的工程師如何
·此設(shè)備可改為RTP(快速熱處理爐)和混合物理化學(xué)氣相沉積(HPCVD)系統(tǒng),請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖片查看,如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們
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