天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經銷德國aixACCT雙光束激光干涉儀TF系列
德國aixACCT雙光束激光干涉儀TF系列
主要型號：
TF 3000、TF 2000 E、TF 1000
相關產品介紹：
雙光束激光干涉儀
aixACCT Systems已將*的雙光束技術擴展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng)，以進行長達8英寸的晶圓表征。
用于測量d 33的雙光束激光干涉儀（aixDBLI）提供經過驗證的精度（x切割石英），max可達0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點是單次測量的采集時間僅為幾秒鐘。基于新的數(shù)據(jù)采集算法，測量速度提高了100倍。這使得 比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機械數(shù)據(jù)。由于差分測量原理，消除了樣品彎曲的影響，這是使用原子力顯微鏡（AFM）進行此類測量的主要障礙。
測量:
-機電大信號應變和極化測量。
-壓電小信號系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關系。如果剛度值已知，則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。
-電氣和機電性能疲勞。
aixDBLI系統(tǒng)的*性能使其適用于6“晶片上的MEMS（微機電系統(tǒng)）設備的壓電和電氣可靠性測試。該系統(tǒng)的 分辨率和可重復性優(yōu)于2％，可大規(guī)模生產。整個裝置包括位于減振室內的光學組件，TF Analyzer 2000和一些附加的模擬電路。
技術數(shù)據(jù):
-解析度:1 pm經過x-cut Quartz測試
-位移/應變測量:50 Hz-5 kHz
100 mV至10 V
至25 V（可選）
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