HS1.30

HS1.50

HS1.70

運動范圍（µm）

30

50

70

分辨率（納米）

0,03

0,05

0,07

典型的噪聲基準(zhǔn)（nm）

0,003

0,005

0,007

全范圍重復(fù)性（納米）

0,06

0,1

0,14

線性化（典型的）

0,02%

0,02%

0,02%

諧振頻率（hz)

4000

4000

4000

剛度 (N/µm)

3

3

3

負(fù)載（公斤）-水平使用

1

1

1

負(fù)載（公斤）-垂直使用

0,5

0,5

0,5

傳感器

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

尺寸：W x L x H (mm)

62,5 x 69,50 x 12,6

62,5 x 89,50 x 12,6

62,5 x 111,50 x 12,6

材料

Al

Al

Al

電纜長度（m）

2

2

2

推薦控制器

Standard or High Speed

Standard or High Speed

Standard or High Speed