噴霧方式は外部混合二流體ノズルになります。噴霧仕様を案內(nèi)頂き設計致しますので、ぜひご利用ください。設備取り付けに合わせたノズル形狀で制作が可能です。
日本進口二流體噴嘴納米噴頭半導體行業(yè)用
在我們身邊的各種電子設備中使用的半導體。近來，半導體的重要性進一步提高，與此相結(jié)合，半導體的品質(zhì)提高是必須的。在半導體制造裝置中，清洗硅片的半導體清洗裝置是去除導致半導體質(zhì)量下降的垃圾等異物的重要設備。在半導體清洗裝置中，在將純水和藥劑吹到硅片上的清洗工序中，多使用1流體和2流體的噴嘴。
附著在對象物上的異物和污垢，從0.1℉的垃圾中微量的重金屬原子、碳分子、油脂等各種各樣，其中也有至今為止的噴霧無法清洗、除去的東西。根據(jù)異物的不同有難以除去的東西，不能充分發(fā)揮作為清洗裝置的性能。另外，半導體清洗裝置的內(nèi)部，只有復雜而有限的空間，可以搭載的噴嘴有限。為此，本事例的顧客，尋找著①適合裝置的緊湊形狀，②清洗能力高確實能除去異物，③清洗時間能縮短的噴嘴。
特長
微?；匦预藘?yōu)れた二流體ノズル
耐酸性、耐アルカリ性に優(yōu)れたPEEK樹脂を採用
低粘度から高粘度までの微?；瘒婌Fが可能
重量はわずか15g
液通路徑が大きく、詰まり対策に有効
専用設計品
日本進口二流體噴嘴納米噴頭半導體行業(yè)用
耐食性に優(yōu)れ、粘性流體の微?；瘔T布に最適なPEEK型
二流體ノズル
半導體精密洗浄
純水噴霧
エッチングでの薬液使用
液晶製造裝置への組込み
日本進口二流體噴嘴納米噴頭半導體行業(yè)用
