波蘭prevac 離子源 其它實(shí)驗(yàn)室設(shè)備 IS 40C1緊湊、易于使用的提取器類(lèi)型，用于清潔樣品表面。源產(chǎn)生 >70 μA/cm 2（氬氣）的離子電流，具有高斯光束輪廓。源插入長(zhǎng)度可根據(jù)個(gè)人要求調(diào)整（62.5 mm – 384.5 mm 之間，其他長(zhǎng)度可根據(jù)需要調(diào)整）。
特征：
使用惰性氣體（Ar）和活性氣體（O 2、H 2、碳?xì)浠衔铮褂脡勖s短）進(jìn)行操作
高離子束電流
使用壽命長(zhǎng)
高穩(wěn)定性
技術(shù)數(shù)據(jù)：
安裝法蘭DN 40CF（不可旋轉(zhuǎn)）
能量范圍0.12 keV – 5 keV
電流密度> 120 μA/cm2（距離 30 毫米）
盾Cu，不銹鋼（用于反應(yīng)氣體）
陰極類(lèi)型氧化釔涂層銥絲
插入長(zhǎng)度最小 62.5 毫米，其他可按要求
定制 外徑：最大 37 毫米
半高寬取決于離子能量和工作距離
（例如距離 30 毫米時(shí)為 3 毫米）
典型工作距離30 – 250 毫米
烘烤溫度最高可達(dá) 250°C
工作壓力10 -5 – 10 -6毫巴
波蘭prevac 離子源 其它實(shí)驗(yàn)室設(shè)備 IS 40C1緊湊、易于使用的提取器類(lèi)型，用于清潔樣品表面。源產(chǎn)生 >70 μA/cm 2（氬氣）的離子電流，具有高斯光束輪廓。源插入長(zhǎng)度可根據(jù)個(gè)人要求調(diào)整（62.5 mm – 384.5 mm 之間，其他長(zhǎng)度可根據(jù)需要調(diào)整）。
特征：
使用惰性氣體（Ar）和活性氣體（O 2、H 2、碳?xì)浠衔铮褂脡勖s短）進(jìn)行操作
高離子束電流
使用壽命長(zhǎng)
高穩(wěn)定性
技術(shù)數(shù)據(jù)：
安裝法蘭 DN 40CF（不可旋轉(zhuǎn)）
能量范圍 0.12 keV – 5 keV
電流密度 > 120 μA/cm2（距離 30 毫米）
盾 Cu，不銹鋼（用于反應(yīng)氣體）
陰極類(lèi)型 氧化釔涂層銥絲
插入長(zhǎng)度 最小 62.5 毫米，其他可按要求
定制 外徑：最大 37 毫米
半高寬 取決于離子能量和工作距離
（例如距離 30 毫米時(shí)為 3 毫米）
典型工作距離 30 – 250 毫米
烘烤溫度 最高可達(dá) 250°C
工作壓力 10 -5 – 10 -6毫巴
