場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
SEM5000
SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。
的鏡筒設(shè)計(jì)，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無(wú)漏磁物鏡設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時(shí)磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動(dòng)功能、精心設(shè)計(jì)的人機(jī)交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無(wú)論經(jīng)驗(yàn)是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務(wù)。
電子槍類型
高亮度肖特基
場(chǎng)發(fā)射電子槍
分辨率
1.0 nm @ 15 kV
1.5 nm @ 1 kV
放大倍率
1 ~ 2,500,000 x
加速電壓
20 V ~ 30 kV
樣品臺(tái)
五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)
產(chǎn)品特點(diǎn)
01
分辨率高，低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像
02
電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品
03
高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel) ，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證
04
電子光路無(wú)交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力
05
水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性
06
磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動(dòng)切換光闌孔，無(wú)需機(jī)械調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
應(yīng)用領(lǐng)域
產(chǎn)品參數(shù)
| 關(guān)鍵參數(shù) | 分辨率 | 1.0?nm @ 15 kV 1.5 nm @ 1 kV |
| 加速電壓 | 20 V ～ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 電子槍類型 | 高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 | |
| 樣品室 | 真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)控制，無(wú)油真空系統(tǒng) |
| 攝像頭 | 雙攝像頭 （光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控） | |
| 行程 | X: 115 mm，Y: 115 mm，Z: 65 mm T: -10°～ +70°, R: 360° | |
| 探測(cè)器和擴(kuò)展 | 標(biāo)配 | 鏡筒內(nèi)高角度電子探測(cè)器 側(cè)向低角度電子探測(cè)器 |
| 選配 | 平插式中角度背散射電子探測(cè)器 STEM自動(dòng)伸縮式掃描透射探測(cè)器 樣品交換倉(cāng) 高速束閘和電子束曝光 EDS能譜儀 EBSD背散射衍射 EBIC電子束感生電流 CL陰極熒光 高低溫原位拉伸臺(tái) 納米機(jī)械手 大圖拼接 | |
| 軟件 | 語(yǔ)言 | 中文 |
| 操作系統(tǒng) | Windows | |
| 導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航 | |
| 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散 |
