SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)
半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）， 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
變頻控制，智能PID控制
預(yù)測控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制
SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù) 應(yīng)用領(lǐng)域
激光加工、印刷設(shè)備、清潔設(shè)備、焊接設(shè)備、高分析儀、LCD制造設(shè)備、模具溫調(diào)、高頻感應(yīng)加熱設(shè)備、X射線（數(shù)字式）設(shè)備等
zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備chiller
溫度范圍：-20°C~+90°C
控溫精度：±0.1℃
觸摸屏操作，人機(jī)交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
溫度波動小
泵體、管路發(fā)生的泄露、流量小、冷卻力、加熱力的下降，溫度無法調(diào)節(jié)等，按照客戶遇到問題時提出的要求，進(jìn)行維修。
1. 水泵泵體，卡住，異響，振動大
2. 冷凍機(jī)，無法制冷，管道堵塞，跳電
3. 維修熱交換器、加熱器
4.制冷劑充注，水泵維修，系統(tǒng)檢漏，改造翻新等服務(wù)
高低溫液體冷卻機(jī)Chiller
溫控精度（空載時）±0.05℃
觸摸屏操作，人機(jī)交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護(hù)裝置
快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運營成本和保障生產(chǎn)
運行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫
