STK-7120 半自動晶圓切割貼膜機(jī)特點： |
桌上型 |
適用于4”&5”&6”&8”晶圓 |
操作簡便 |
STK-7120 半自動晶圓切割貼膜機(jī)性能： |
晶圓收益 | ≥99.9% |
貼膜質(zhì)量 | 沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡） |
每小時產(chǎn)能 | ≥ 75片晶圓 |
更換產(chǎn)品時間 | ≤ 5分鐘 |
STK-7120 半自動晶圓切割貼膜機(jī)規(guī)格參數(shù)： |
晶圓直徑 | 8”& 12” |
晶圓厚度 | 200 ~750微米 |
晶圓種類 | 硅, 砷化鎵或其它材料 單邊, V型缺口 |
膜種類 | 藍(lán)膜或者UV膜 寬度：300~400毫米 長度：100米 厚度：0.05~0.2毫米 |
晶圓承載環(huán) | 8”DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn) 12”DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn) 客戶制定標(biāo)準(zhǔn) |
貼膜原理 | 防靜電滾輪貼膜 |
晶圓臺盤 | 可更換式防靜電涂層接觸式臺盤（8“和12”之間互換） 或硅膠臺盤；或多孔金屬臺盤；或陶瓷臺盤 |
裝卸方式 | 晶圓/承載環(huán)手動放置與取出 |
防靜電控制 | 防靜電涂層晶圓臺盤/防靜電貼膜滾輪/防靜電離子發(fā)生器裝置 |
切割系統(tǒng) | 手動軌跡式圓切刀和直切刀 |
晶圓定位 | 通用標(biāo)線／彈簧定位銷 |
控制單元 | 基于PLC 控制，帶5.7”觸摸屏 |
安全防護(hù) | 配置緊急停機(jī)按鈕 |
電源電壓 | 單相交流電220V,10A |
壓縮空氣 | 5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺 |
機(jī)器外殼 | 白色噴塑金屬外殼 |
體積 | 670毫米(寬)*1110毫米(深)*880毫米(高) |
凈重 | 100公斤 |
