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廣電計量檢測集團股份有限公司

空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)

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  • 公司名稱北京杜克泰克科技有限公司
  • 品       牌杜克泰克
  • 型       號獵戶座 310
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時間2024/8/29 7:09:17
  • 訪問次數(shù)1409
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     北京杜克泰克科技有限公司,是一家專注于工業(yè)氣體分析、工業(yè)過程控制、礦業(yè)勘察的科技公司,致力于為環(huán)境保護、能源電力、石油化工、冶金礦業(yè)、天然氣、生物制藥等行業(yè)提供工業(yè)過程參數(shù)測量儀器和解決方案。自公司成立以來一直給客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品,用的團隊為客戶服務(wù),以良好的信譽贏得了客戶的支持。

 

 

 

 

 

主營:溫室氣體分析,傅立葉紅外氣體分析,AMC空氣分子污染物,溶解氧分析儀,碳化及氮化裝置,脫氧脫氣脫醇裝置,濃密度計,光譜色譜儀,殺菌消毒凈化裝置,攪拌混合加藥裝置等產(chǎn)品
產(chǎn)地 國產(chǎn)
空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)快速監(jiān)測、報警、極低濃度測量、寬測量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸類等濃度測量,當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng) 時,將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量。
空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

獵戶座3100系統(tǒng):完善的空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)

實時監(jiān)測空氣分子污染(AMC )對于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程極為重要。

快速監(jiān)測、報警、極低濃度測量、寬測量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸類等濃度測量,當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng) 時,將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量。

 

傳統(tǒng)古老的方法多采用間接測量分析方法。包括撞擊濾塵器、離子色譜、化學(xué)熒光法,這些方法分析速度太慢,操作過程太復(fù)雜,昂貴并且測量結(jié)果不精確。

 

CEAS (腔增強吸收光譜)---原理

基于CEAS(腔增強吸收光譜)技術(shù)的儀器原理圖,使用近紅外波段光進行高靈敏度吸收測量,測量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構(gòu)成,激光束經(jīng)過固態(tài)校準器(FSR=2.00GHz)時會測量得到相對激光波長。為了保證清晰度,忽略了原本照射到左側(cè)測量單元腔鏡外的光束。

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