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空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

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公司名稱北京杜克泰克科技有限公司
品牌杜克泰克
型號(hào)獵戶座 310
所在地北京市
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時(shí)間2024/8/29 7:09:17
訪問次數(shù)1377

產(chǎn)品標(biāo)簽:

AMC監(jiān)測(cè)AMC在線監(jiān)測(cè)空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)空氣分子污染物監(jiān)測(cè)潔凈室微量氣體監(jiān)測(cè)

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北京杜克泰克科技有限公司，是一家專注于工業(yè)氣體分析、工業(yè)過程控制、礦業(yè)勘察的科技公司，致力于為環(huán)境保護(hù)、能源電力、石油化工、冶金礦業(yè)、天然氣、生物制藥等行業(yè)提供工業(yè)過程參數(shù)測(cè)量?jī)x器和解決方案。自公司成立以來(lái)一直給客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，用的團(tuán)隊(duì)為客戶服務(wù)，以良好的信譽(yù)贏得了客戶的支持。

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主營(yíng)：溫室氣體分析,傅立葉紅外氣體分析,AMC空氣分子污染物，溶解氧分析儀，碳化及氮化裝置，脫氧脫氣脫醇裝置，濃密度計(jì)，光譜色譜儀，殺菌消毒凈化裝置，攪拌混合加藥裝置等產(chǎn)品

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)

空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)快速監(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度測(cè)量、寬測(cè)量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸類等濃度測(cè)量，當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng) 時(shí)，將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量。

空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

獵戶座3100系統(tǒng)：完善的空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)空氣分子污染（AMC ）對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程極為重要。

快速監(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度測(cè)量、寬測(cè)量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸類等濃度測(cè)量，當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng) 時(shí)，將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量。

傳統(tǒng)古老的方法多采用間接測(cè)量分析方法。包括撞擊濾塵器、離子色譜、化學(xué)熒光法，這些方法分析速度太慢，操作過程太復(fù)雜，昂貴并且測(cè)量結(jié)果不精確。

CEAS （腔增強(qiáng)吸收光譜）---原理

基于CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)的儀器原理圖，使用近紅外波段光進(jìn)行高靈敏度吸收測(cè)量，測(cè)量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構(gòu)成，激光束經(jīng)過固態(tài)校準(zhǔn)器（FSR=2.00GHz）時(shí)會(huì)測(cè)量得到相對(duì)激光波長(zhǎng)。為了保證清晰度，忽略了原本照射到左側(cè)測(cè)量單元腔鏡外的光束。