ALPHAPLASMA等離子清洗機(jī)AL18特點(diǎn): |
改善Die Bonding |
改善Wire Bonding |
改善錫球焊接 |
改善倒裝底部填充(FC Underfill) |
改善塑封(Molding)/封膠 |
ALPHAPLASMA等離子清洗機(jī)AL18選項(xiàng): |
進(jìn)口干泵系統(tǒng)(含相關(guān)附件) |
信號(hào)燈塔-紅黃綠三色 |
額外的處理氣體線路-最多至4路氣體 |
旋轉(zhuǎn)臺(tái)-φ200mm,旋轉(zhuǎn)速度可調(diào) |
ECR機(jī)構(gòu) |
包裝,運(yùn)輸 |
ALPHAPLASMA等離子清洗機(jī)AL18規(guī)格: |
等離子源 | 2.45Ghz微波等離子源,600W |
腔體 | 鋁.長(zhǎng)250mm,寬250mm,深290mm,18L |
外觀尺寸 | 長(zhǎng)530mm,寬600mm,高550mm |
處理氣體 | 1路氣體+數(shù)字MKS流量控制器 |
真空腔門(mén) | 鉸鏈門(mén)+觀察窗 |
觀察窗 | UV與微波屏蔽保護(hù) |
GUI 7"觸摸屏 | Window CE操作系統(tǒng) |