ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18特點: |
改善Die Bonding |
改善Wire Bonding |
改善錫球焊接 |
改善倒裝底部填充(FC Underfill) |
改善塑封(Molding)/封膠 |
ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18選項: |
進口干泵系統(tǒng)(含相關附件) |
信號燈塔-紅黃綠三色 |
額外的處理氣體線路-最多至4路氣體 |
旋轉臺-φ200mm,旋轉速度可調 |
ECR機構 |
包裝,運輸 |
ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18規(guī)格: |
等離子源 | 2.45Ghz微波等離子源,600W |
腔體 | 鋁.長250mm,寬250mm,深290mm,18L |
外觀尺寸 | 長530mm,寬600mm,高550mm |
處理氣體 | 1路氣體+數字MKS流量控制器 |
真空腔門 | 鉸鏈門+觀察窗 |
觀察窗 | UV與微波屏蔽保護 |
GUI 7"觸摸屏 | Window CE操作系統(tǒng) |