ARC8-MS4 是針對(duì)工模具開發(fā)的真空鍍膜機(jī),主要應(yīng)用于滾齒刀、絲錐、銑刀等,可以鍍制氮化鈦、氮化鋁鈦、氮化鋁鈦鉻等膜層。
具體技術(shù)規(guī)格如下:
真空室尺寸 | ?1000mm * H1000mm |
極限真空度 | 1.0*10-4Pa |
壓升率 | 0.33Pa/hr(常態(tài)) |
冷卻水 | 6ton/hr |
占據(jù)空間 | 2*2*1m3 |
真空室 | 進(jìn)口304不銹鋼,雙層內(nèi)襯,五年質(zhì)保 |
抽氣系統(tǒng) | 進(jìn)口萊寶分子泵+萊寶羅茨泵+萊寶粗抽泵 |
真空檢測(cè) | 萊寶全量程真空計(jì) |
流量控制 | Brooks/MKS/AE/可選 |
轉(zhuǎn)架 | 可拉出轉(zhuǎn)架 |
磁控濺射 | 4支柱狀濺射靶 |
陰極電弧 | 8套復(fù)合磁場(chǎng)陰極弧 (靶材規(guī)格150*20) |
電源 | 美國(guó)AE品牌偏壓 ,霍廷格中頻電源 |
加熱系統(tǒng) | 500度,3根熱電偶監(jiān)測(cè) |
冷卻水循環(huán)系統(tǒng) | 配日本SMC水流開關(guān),智能控制 |
電氣元件 | 日本三菱PLC、端子、施耐德等空開、接觸器。 |