產(chǎn)品介紹
用于激光故障注入的S-LMS顯微鏡站是集成電路安全評(píng)估的高精度平臺(tái)。它允許將激光點(diǎn)聚焦在芯片上并通過背面掃描樣品，以評(píng)估電子元件的安全級(jí)別。S-LMS顯微鏡允許注射、聚焦和掃描一個(gè)激光點(diǎn)至1米的點(diǎn)大小，同時(shí)用紅外攝像機(jī)從背面觀察樣品。
性能特點(diǎn)
980 和/或 1064 nm 的單模激光
脈沖亞納秒到連續(xù)波
時(shí)間精度 <8 ps
頻率高達(dá) 250 MHz
>92% 透射率
同軸紅外視覺
可以由Python控制和驅(qū)動(dòng)
可選功能與配件
光電發(fā)射選項(xiàng)
激光熱刺激選項(xiàng)
esDynamic軟件平臺(tái)
技術(shù)參數(shù)
單模光纖激光器
|
| PDM+/PDM+ HP | PDM4+ and PDM4+ HP |
| 脈沖持續(xù)時(shí)間 | 從1.5納秒到連續(xù)波 | 從1.5納秒到連續(xù)波 |
| 峰值功率 | 高達(dá)3.2瓦 | 高達(dá)10瓦 |
| 波長 | 980納米；1064牛米 | 980納米；1064牛米 |
| 重復(fù)率 | 從單發(fā)到250兆赫 | 從單發(fā)到250兆赫 |
| 命令接口 | TTL/LVTTL /軟件& dlls | TTL/LVTTL /軟件& dlls |
| 光束質(zhì)量 | 單模 | 單模 |
InGaAs 紅外相機(jī)
| Captor | 640x512 µm |
| 動(dòng)態(tài)量程 | 140 dB |
| 接口 | USB(包含軟件) |
電學(xué)
| 電壓 | 220 V/110 V |
| 電流 | 16 A |
自動(dòng)位置調(diào)節(jié)系統(tǒng)
| 軸數(shù) | 3 |
| 行程范圍 | 52 mm |
| 分辨率 | 0.315 µm |
| 重復(fù)性 | +/- 0.8 µm |
| 速度（max.） | 20 mm/s |
產(chǎn)品應(yīng)用
故障注入
光發(fā)射
熱刺激
產(chǎn)品參數(shù)
