427、428、429系列調(diào)壓閥性能特點
• 427系列、428系列用于純度的氣體次級調(diào)壓或高純氣體分布系統(tǒng);429系列用于純度的氣體初級調(diào)壓或高純氣體分布系統(tǒng)
• 對接焊面密封連接可達(dá)抗漏能力
• 前后表面安裝,適合多種配置
• 316L不銹鋼閥體可增強耐腐蝕能力
• 3000PSIG額定入口壓力安全用于高壓氣瓶
• 壓力表:427系列無壓力表;428系列只有出口壓力表
429系列入口/出口均有壓力表
427、428、429系列典型應(yīng)用
•半導(dǎo)體工藝氣體、氣相及液相分析、超高純載氣
•零點和刻度校準(zhǔn)氣體、液化烴氣體控制、低溫氣體控制
面密封427、428、429系列材質(zhì)
• 閥體:316L不銹鋼棒料
• 閥帽:鍍鉻黃銅棒料
• 膜片:316L不銹鋼
• 閥座:PTFE
• 過濾器:10μm多層篩孔不銹鋼
• 內(nèi)部密封:PTFE
• 壓力表:2”直徑不銹鋼
面密封427、428、429系列技術(shù)參數(shù)
• 入口壓力:3000 PSIG
• 出口壓力:0~500 PSIG
• 工作溫度:-40~60°C
• 整體氦氣泄露檢測:1x10-9scc/sec
• 流量系數(shù) Cv = 0.1
• 接口:¼” FSC
• 重量:427-1002(1.02kg); 428-1302(1.12kg),429-1312(1.24kg)
選型信息表
427 A B C D 428 出口壓力 出口壓力表 入口壓力表 接口 429 1: 0~15 PSIG 0: 無 0:無 1: FFSC入口/MFSC出口 系列 2: 0~30 PSIG 1: 30"-0-30 PSIG 1: 0-4000 PSIG 2: MFSC入口/MFSC出口 3: 0~50 PSIG 2: 30"-0-60 PSIG 2: 0-400 PSIG 3: MFSC入口/FFSC出口 4: 0~100 PSIG 3: 30"-0-100 PSIG 3: 0-1000 PSIG 4: FFSC入口/FFSC出口 5: 0~250 PSIG 4: 30"-0-200 PSIG 4: 0-3000 PSIG 6: 0~500 PSIG 5: 0-400 PSIG 5: 30"-0-200 PSIG FSC - 面密封連接 7: 0~150 PSIG 6: 0-1000 PSIG 6: 30"-0-100 PSIG FFSC - 面密封連接(內(nèi)) 7: 30"-0-60 PSIG MFSC - 面密封連接(外) 8: 30"-0-30 PSIG 427系列只選0,無出口壓力表 427、428系列只選0,無入口壓力表