精確的平行運動
Max.200µm的運動范圍
無機械間隙
容易與其他壓電系統(tǒng)結(jié)合
精密銷孔,可精確調(diào)節(jié)
高動態(tài)范圍
可用于光纖定位、二維掃描系統(tǒng)、光束對準、半導(dǎo)體、微操作
平行四邊形構(gòu)造的固態(tài)鉸鏈提供平行運動,而在x和y方向上沒有機械間隙。這些構(gòu)造原理得到非常高的分辨率,遠遠超過了機械和機電定位系統(tǒng)的分辨率。壓電定位器PXY 200系列可以輕松安裝到其他定位系統(tǒng),并可以配備克服磁滯效應(yīng)的測量設(shè)備(應(yīng)變儀)。動態(tài)操作是可能的,PXY 200壓電元件非常適合解決掃描問題。
軸:X,Y
開環(huán)運動(±10%)/閉環(huán)運動(±0.2%):200 /-µm
每軸電容(±20%):5.2µF
分辨率(開/閉環(huán)):0.4 /- nm
諧振頻率x / y(空載):350/350 Hz
推/拉力
X軸:max. 130/13 N
Y軸:130/13 N
剛度x / y :0.65 / 0.65 N /μm
電壓范圍:-20…130V
電纜長度:1 m
溫度范圍:-20°C…+ 80°C
材料:鋁/不銹鋼
尺寸(長x寬x高):70x70x25 mm
中心孔徑(直徑):28 mm
重量:350 g