HMDS真空烘箱技術(shù)參數(shù):
電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%
輸入功率:2400W
控溫范圍:RT+10℃-250℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波動度:±0.5℃
達到真空度:133Pa
容積:90L
工作室尺寸(mm):450*450*450
載物托架:2塊
時間單位:min
二、HMDS真空烘箱特點:
1、 采用科研級不銹鋼316L材質(zhì)制造,內(nèi)膽為不銹鋼316L;加熱器均勻分布在內(nèi)膽
外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀
察工作室內(nèi)物體一目了然。
2、 箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。
3、 微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫
精確,可靠。
4、 智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套進口PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,
溫度,真空度及每一程序時間。
5、 HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外
漏顧慮。
6、 整個系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造,無發(fā)塵材料,適用100 級光刻間凈化環(huán)境。