Model 6810高分辨率電容式傳感器為位置和位移測(cè)量提供了高性能。6810專(zhuān)為高速旋轉(zhuǎn)或振蕩目標(biāo)的“高動(dòng)態(tài)”測(cè)量而設(shè)計(jì),如硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器主軸電機(jī)、空氣軸承主軸和機(jī)械軸承機(jī)床主軸。應(yīng)用包括跳動(dòng)測(cè)量,如軸向和徑向NRRO(不可重復(fù)的跳動(dòng)或非同步誤差運(yùn)動(dòng)),其需要1至2 nm rms或更好的分辨率。
- 的低噪聲設(shè)計(jì)提供亞納米級(jí)的測(cè)量分辨率
- 電容式位移測(cè)量
- 傳感-目標(biāo)材料或反射率對(duì)測(cè)量精度沒(méi)有影響
- 高測(cè)量帶寬,從1 kHz到100 kHz,適用于“高動(dòng)態(tài)”應(yīng)用
- 非接觸式設(shè)計(jì)
- 高分辨率,低至亞納米級(jí)(在50微米的測(cè)量范圍內(nèi),5kHz時(shí)為0.25納米rms)
- 用戶(hù)可選擇的測(cè)量帶寬(1 kHz、5 kHz、20 kHz、100 kHz)
- 測(cè)量范圍從20微米到幾毫米
- 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)±10伏模擬輸出
- 經(jīng)過(guò)認(rèn)證的、NIST可追溯的校準(zhǔn)精度(每個(gè)裝置都提供校準(zhǔn)證書(shū))
- 非常緊湊,包括MicroSense隔離低噪聲電源
- 提供3U歐洲卡格式
- 與MicroSense的6000系列傳感器兼容,有多種尺寸可供選擇
產(chǎn)地:美國(guó)
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量范圍:±25µm、±50µm、±100µm、250µm、500µm、750µm
(校準(zhǔn)范圍取決于傳感器尺寸)
模擬輸出:±10伏滿(mǎn)量程、單端和差分(選項(xiàng)±5伏、0–10伏)
傳感器輸入:MicroSense 6000系列探頭和傳感器
測(cè)量帶寬(@-3dB):1 kHz、5 kHz、20 kHz、100 kHz(跳線(xiàn)可選)
滿(mǎn)量程范圍內(nèi)的線(xiàn)性度:0.25%
穩(wěn)定性:200 ppm/?C
目標(biāo)材料:任何導(dǎo)電材料(也可提供玻璃或陶瓷等非導(dǎo)電材料的傳感器)
超范圍檢測(cè):TTL輸出和前面板LED指示
前面板調(diào)整:比例系數(shù)、零偏移、限制設(shè)置
工作環(huán)境(溫度):0至50?-C
工作濕度:<85%RH,非冷凝
電源要求:90至240 VAC,50/60 Hz
尺寸:175毫米(長(zhǎng))x 110毫米(寬)x 40毫米(高)
重量:0.5kg,電源0.8kg