掃描雙軸(傾斜)MEMS反射鏡(或“微反射鏡”)是一種光束控制(或2D光學掃描)技術(shù),在許多行業(yè)中使用。與競爭產(chǎn)品相比,Mirrorcle Technologies股份有限公司tip-timeMEMS反射鏡有幾個主要優(yōu)勢?;贏RI-MEMS制造技術(shù)的無萬向節(jié)雙軸掃描微鏡設(shè)備起初是通過位于加利福尼亞州伯克利的亞得里亞海研究所(“ARI”)基于ARI-MEM制造技術(shù)的研究項目開發(fā)的,無萬向節(jié)雙軸掃描微鏡設(shè)備在超低功率環(huán)境中運行,并在兩軸上提供非??焖俚墓馐鴴呙?。該設(shè)備使激光束在兩個軸上高速偏轉(zhuǎn)至高達32°的光學掃描角。與現(xiàn)有的大型電流計光學掃描儀相比,我們的設(shè)備所需的驅(qū)動功率要低幾個數(shù)量級。我們的靜電執(zhí)行器的連續(xù)全速操作消耗的功率不到幾毫瓦。
MirrorcleTech器件由單晶硅制成,具有好的可重復性和可靠性。光學平面和光滑的反射鏡上涂有一層具有所需反射率的薄膜。更大的反射鏡可以結(jié)合到致動器上,用于定制孔徑尺寸。直徑從0.8毫米到7.5毫米的鏡子目前有庫存。高達9.0mm的尺寸在特殊應(yīng)用中得到了成功證明。
MirrorcleTech的MEMS微鏡技術(shù)用途廣泛,適用于各種應(yīng)用。一些器件采用某種通用的準靜態(tài)(點對點)性能規(guī)范制造。其他設(shè)備是高度可定制的,以實現(xiàn)特定的規(guī)格集,例如投影顯示器。雖然以下描述主要涉及雙軸裝置,但也有多個單軸設(shè)計可用,包括點對點(準靜態(tài))和諧振型。
Mirrorcle Technologies MEMS器件解決了需要光束控制的廣泛應(yīng)用。隨著光學掃描或光束轉(zhuǎn)向出現(xiàn)在各種行業(yè)和眾多應(yīng)用中,我們的掃描鏡在那些需要微型、高速、低功耗或低成本解決方案的應(yīng)用中most為有利。
- 無萬向節(jié)設(shè)計,實現(xiàn)超高速雙軸激光束轉(zhuǎn)向
- 點對點(準靜態(tài))或諧振操作模式下的大角度
- MEMS反射鏡:A7M10.2-1000AL
- 帶寬:在基于LPF的驅(qū)動中為~2200Hz
- FoR:約34°x 34°關(guān)注范圍
- 波長:單個激光二極管光源:綠色(~520nm),<30mW CW功率
- 發(fā)散度(半角,平均值):<2.5mrad
- 重復性:每個軸<0.005°
- MEMS接口:10針0.05“Samtec連接器,與所有MirrorcleMEMS控制器匹配
- 鏡子尺寸:從0.6毫米到7.5毫米不等
- 激光接口:
共享10針MEMS接口連接器
需要與掃描模塊配對的Mirrorcle MEMS控制器,以匹配激光二極管(LD)特性
- 產(chǎn)地:美國
- 投影顯示器
- 3D掃描
- 激光雷達成像
- 3D跟蹤和位置測量
- 激光打標和雕刻
- 自由空間光學與電信
- 生物醫(yī)學成像