掃描雙軸（傾斜）MEMS反射鏡（或“微反射鏡”）是一種光束控制（或2D光學掃描）技術(shù)，在許多行業(yè)中使用。與競爭產(chǎn)品相比，Mirrorcle Technologies股份有限公司tip-timeMEMS反射鏡有幾個主要優(yōu)勢。基于ARI-MEMS制造技術(shù)的無萬向節(jié)雙軸掃描微鏡設(shè)備起初是通過位于加利福尼亞州伯克利的亞得里亞海研究所（“ARI”）基于ARI-MEM制造技術(shù)的研究項目開發(fā)的，無萬向節(jié)雙軸掃描微鏡設(shè)備在超低功率環(huán)境中運行，并在兩軸上提供非常快速的光束掃描。該設(shè)備使激光束在兩個軸上高速偏轉(zhuǎn)至高達32°的光學掃描角。與現(xiàn)有的大型電流計光學掃描儀相比，我們的設(shè)備所需的驅(qū)動功率要低幾個數(shù)量級。我們的靜電執(zhí)行器的連續(xù)全速操作消耗的功率不到幾毫瓦。
MirrorcleTech器件由單晶硅制成，具有好的可重復(fù)性和可靠性。光學平面和光滑的反射鏡上涂有一層具有所需反射率的薄膜。更大的反射鏡可以結(jié)合到致動器上，用于定制孔徑尺寸。直徑從0.8毫米到7.5毫米的鏡子目前有庫存。高達9.0mm的尺寸在特殊應(yīng)用中得到了成功證明。
MirrorcleTech的MEMS微鏡技術(shù)用途廣泛，適用于各種應(yīng)用。一些器件采用某種通用的準靜態(tài)（點對點）性能規(guī)范制造。其他設(shè)備是高度可定制的，以實現(xiàn)特定的規(guī)格集，例如投影顯示器。雖然以下描述主要涉及雙軸裝置，但也有多個單軸設(shè)計可用，包括點對點（準靜態(tài)）和諧振型。
Mirrorcle Technologies MEMS器件解決了需要光束控制的廣泛應(yīng)用。隨著光學掃描或光束轉(zhuǎn)向出現(xiàn)在各種行業(yè)和眾多應(yīng)用中，我們的掃描鏡在那些需要微型、高速、低功耗或低成本解決方案的應(yīng)用中most為有利。
- 無萬向節(jié)設(shè)計，實現(xiàn)超高速雙軸激光束轉(zhuǎn)向
- 點對點（準靜態(tài)）或諧振操作模式下的大角度
- MEMS反射鏡：A7M10.2-1000AL
- 帶寬：在基于LPF的驅(qū)動中為~2200Hz
- FoR：約34°x 34°關(guān)注范圍
- 波長：單個激光二極管光源：綠色（~520nm），<30mW CW功率
- 發(fā)散度（半角，平均值）：<2.5mrad
- 重復(fù)性：每個軸<0.005°
- MEMS接口：10針0.05“Samtec連接器，與所有MirrorcleMEMS控制器匹配
- 鏡子尺寸：從0.6毫米到7.5毫米不等
- 激光接口：
共享10針MEMS接口連接器
需要與掃描模塊配對的Mirrorcle MEMS控制器，以匹配激光二極管（LD）特性
- 產(chǎn)地：美國
- 投影顯示器
- 3D掃描
- 激光雷達成像
- 3D跟蹤和位置測量
- 激光打標和雕刻
- 自由空間光學與電信
- 生物醫(yī)學成像
